М.: Сов. радио, 1978, 96 с.
В книге, написанной известным отечественным специалистом, рассмотрены основные составляющие фотолитографического метода: светочувствительные материалы, собственно технология фотолитографии, практические приемы фотолитографии и применяемое оборудование.
Книга рассчитана на широкий круг читателей. Технологи, знакомые с фотолитографией, найдут в ней практические указания и новые сведения. Инженеров, работающих в других областях, могут заинтересовать возможности и перспективы развития фотолитографии.
В книге, написанной известным отечественным специалистом, рассмотрены основные составляющие фотолитографического метода: светочувствительные материалы, собственно технология фотолитографии, практические приемы фотолитографии и применяемое оборудование.
Книга рассчитана на широкий круг читателей. Технологи, знакомые с фотолитографией, найдут в ней практические указания и новые сведения. Инженеров, работающих в других областях, могут заинтересовать возможности и перспективы развития фотолитографии.