«Высш. школа», 1977г. , 256 с. с ил.
В книге рассмотрены: технология полупроводниковых интегральных микросхем (диффузии. эпитаксия, пассивация, межсоединения, фотолитография); технология гибридных пленочных микросхем (физические основы и техника термического вакуумного напыления, активные и пассивные тонкопленочные элементы, методы контроля тонкопленочных элементов в процессе напыления, распыление ионной бомбардировкой, технологические особенности толстопленочных микросхем); сборка микросхем (монтажно-сборочные операции, крепление подложек и кристаллов, герметизация). Учеб. пособие специальностей «Электронные вычислительные машины» и «Конструирование и производство электронно-вычислительной аппаратуры».
Рецензенты:
Кафедра КИП ЭВА Ленинградского института точной механики и оптики (зав. кафедрой доц. Новиков В. В. )
Зав. кафедрой «Микроэлектроника» Московского института электронного машиностроения проф. Яншин А. А.
Главы:
Технология полупроводниковых интегральных микросхем.
Технология гибридных пленочных микросхем.
Сборка микросхем.
В книге рассмотрены: технология полупроводниковых интегральных микросхем (диффузии. эпитаксия, пассивация, межсоединения, фотолитография); технология гибридных пленочных микросхем (физические основы и техника термического вакуумного напыления, активные и пассивные тонкопленочные элементы, методы контроля тонкопленочных элементов в процессе напыления, распыление ионной бомбардировкой, технологические особенности толстопленочных микросхем); сборка микросхем (монтажно-сборочные операции, крепление подложек и кристаллов, герметизация). Учеб. пособие специальностей «Электронные вычислительные машины» и «Конструирование и производство электронно-вычислительной аппаратуры».
Рецензенты:
Кафедра КИП ЭВА Ленинградского института точной механики и оптики (зав. кафедрой доц. Новиков В. В. )
Зав. кафедрой «Микроэлектроника» Московского института электронного машиностроения проф. Яншин А. А.
Главы:
Технология полупроводниковых интегральных микросхем.
Технология гибридных пленочных микросхем.
Сборка микросхем.