Лучинин В.В. Физика и технология микро - и наносистем
Подождите немного. Документ загружается.
230
Научное издание
Физика и технология
микро- и наносистем
Под общей редакцией В. В. Лучинина
Редактор В. В. Малиновский
Оригинал-макет подготовлен
коллективом кафедры микро- и наноэлектроники
СПбГЭТУ «ЛЭТИ»
Подписано в печать 01.11.2011. Формат 70×100 1/16.
Бумага офсетная. Печать офсетная. Печ. л. 15,0.
Гарнитура «Times New Roman». Тираж 250 экз. Заказ
Издательство «Русская коллекция»
199178, Санкт-Петербург, В. О., 13-я линия, д. 30, оф. 4
Отпечатано с готовых диапозитивов
в типографии ЗАО «Электронстандарт–Принт»
196158, Санкт-Петербург, Московское ш., д. 23, корп. 1, лит. А