СПб: СПбГЭТУ (ЛЭТИ), 2002. Курс лекций для бакалавров.
Оглавление.
Этапы производства и оптимизация ИС.
Предельные возможности интегральной микроэлектроники.
Приборы с зарядовой связью.
Гетеропереход и двумерный электронный газ.
Сверхбыстродействующие транзисторы на основе гетероперехода.
Микроэлектроника СВЧ.
Оглавление.
Этапы производства и оптимизация ИС.
Предельные возможности интегральной микроэлектроники.
Приборы с зарядовой связью.
Гетеропереход и двумерный электронный газ.
Сверхбыстродействующие транзисторы на основе гетероперехода.
Микроэлектроника СВЧ.