Статья
- формат pdf
- размер 617.05 КБ
- добавлен
06 ноября 2011 г.
Статья. Опубликована в Доклады БГУИР, №3, 2004, с.73-84 Тонкие диэлектрические пленки из различных материалов нашли широкое применение в полупроводниковой электронике, в том числе и микроэлектронике. Благодаря ряду уникальных физико-химических свойств, они используются в качестве буферных покрытий, стойких к воздействиям высокой температуры плазмы, коррозионных сред, медленных нейтронов, в качестве материала твердотельных электролитов и др. Наибо...