Методические указания к практическим занятиям по дисциплине
"Технология полупроводниковых материалов, приборов и интегральных
микросхем"
Ленинград, издательство ЛЭТИ, 1991, 32с.
Рассматривается применение рентгеноспектрального микроанализа для решения ряда практических задач полупроводниковой технологии. Даны краткие описания задач и путей их решения, а также сформулированы конкретные задания.
8 работ:
Определение положения линии солидуса в бинарных и квазибинарных системах
Определение эффективного коэффициента распределения
Анализ твердфазной части диаграмм состояния
Определение коэффициента диффузии в твердом теле
Построение изоконцентрат для жидкофазной эпитаксии
Триангуляция тройных диаграмм состояния
Определение пределов растворимости в твердом теле
Анализ Диффузионных процессов в жидкой фазе
Ленинград, издательство ЛЭТИ, 1991, 32с.
Рассматривается применение рентгеноспектрального микроанализа для решения ряда практических задач полупроводниковой технологии. Даны краткие описания задач и путей их решения, а также сформулированы конкретные задания.
8 работ:
Определение положения линии солидуса в бинарных и квазибинарных системах
Определение эффективного коэффициента распределения
Анализ твердфазной части диаграмм состояния
Определение коэффициента диффузии в твердом теле
Построение изоконцентрат для жидкофазной эпитаксии
Триангуляция тройных диаграмм состояния
Определение пределов растворимости в твердом теле
Анализ Диффузионных процессов в жидкой фазе