Физическая природа свойств твёрдых тел.
Фазовые диаграммы и твердые растворы.
Структура твердотельных интегральных микросхем.
Диффузионные процессы в твердых телах.
Основы ионного легирования.
Технологические основы микроэлектроники.
/124 стр. // BSUIR
Фазовые диаграммы и твердые растворы.
Структура твердотельных интегральных микросхем.
Диффузионные процессы в твердых телах.
Основы ионного легирования.
Технологические основы микроэлектроники.
/124 стр. // BSUIR