Шелохвостов В. П., Баршутин С. Н. -Тамбов: Изд-во Тамб. гос. техн.
ун-та, 2004. Ч. 1. 32 с.
Представлены лабораторные работы по основным физико-химическим процессам в технологии электронных средств: элементы, компоненты и топология интегральных средств, влияние температуры на скорость химической реакции, электролиз, химическое травление, очистка подложек, окисление кремния.
Предназначены для студентов 3 и 4 курсов дневной и заочной форм обучения специальности 210200.
Представлены лабораторные работы по основным физико-химическим процессам в технологии электронных средств: элементы, компоненты и топология интегральных средств, влияние температуры на скорость химической реакции, электролиз, химическое травление, очистка подложек, окисление кремния.
Предназначены для студентов 3 и 4 курсов дневной и заочной форм обучения специальности 210200.