СПбГУАП. СПб., 2005. 52 с.: ил.
Приведены краткие теоретические сведения и методические указания к выполнению четырех лабораторных работ по курсу Физико-химические основы технологии электронно-вычислительных средств.
Предназначен для студентов инженерных специальностей 200800 и 220500 всех форм обучения.
- Исследование распределения удельного поверхностного сопротивления резистивной пленки.
- Исследование процесса термовакуумного напыления резистивных пленок.
- Исследование процесса диффузии примеси в полупроводник.
- Исследование и оптимизация параметров сварки элементов интегральных микросхем.
Библиографический список.
Приложение.
Приведены краткие теоретические сведения и методические указания к выполнению четырех лабораторных работ по курсу Физико-химические основы технологии электронно-вычислительных средств.
Предназначен для студентов инженерных специальностей 200800 и 220500 всех форм обучения.
- Исследование распределения удельного поверхностного сопротивления резистивной пленки.
- Исследование процесса термовакуумного напыления резистивных пленок.
- Исследование процесса диффузии примеси в полупроводник.
- Исследование и оптимизация параметров сварки элементов интегральных микросхем.
Библиографический список.
Приложение.