Курсовая работа по технологии оптической контактной литографии

Курсовая работа

формат doc
размер 2.1 МБ
добавлен 09 февраля 2011 г.

Введение.
Современные литографические процессы в технологии ППП и ИС.
Фоторезисты.
Фотошаблоны.
Контактная фотолитография.
Дефекты при проведении процесса контактной фотолитографии.
Бесконтактная фотолитография.
Рентгеновская литография.
Электронно-лучевая литография.
Описание технологического процесса.
Выбор и описание технологического оборудования.
Оценка технологического процесса.
Ведомость технологической документации.
Ведомость оборудования.
Маршрутная карта.
Карта операционного контроля.
Операционная карта универсальная.
Заключение.
Список литературы.
МГОУ.
5 курс.
35 стр.

Смотрите также

Дорфман В.Ф. Микрометаллургия в микроэлектронике

формат djvu
размер 12.91 МБ
добавлен 17 июня 2010 г.

Изложены физико-химические основы технологии полупроводниковых приборов и интегральных схем. Проанализировано влияние размерных эффектов в твердом теле и в процессах его формирования на развитие микроэлектроники, обсуждены предельные возможности миниатюризации и интеграции полупроводниковых приборов. Рассмотрены механизмы неравновесных процессов формирования структуры приборов. Систематизированы известные селективные физико-химические явления, ис...

Кобболд Р. Теория и применение полевых транзисторов

формат djvu
размер 3.24 МБ
добавлен 16 августа 2011 г.

Пер. с англ. Макарова В.В. Л., "Энергия", 1975 г. 304 стр. с ил. Книга охватывает широкий круг вопросов, начиная от физических принципов работы полевых приборов различных типов (транзисторов с управляющим p-n- переходом, МОП- транзисторов, плёночных полевых транзисторов) и кончая методами расчёте электронных схем, выполненных на этих приборах. Вопросы теории сопоставлены с данными исследований реальных устройств, рассмотрены ограничения, определя...

Лабораторная работа №1

Лабораторная

формат doc
размер 114.64 КБ
добавлен 15 января 2007 г.

ПП1. Лабораторная работа по курсу "Твердотельная электроника" для студентов специальности "Промышленная электроника". Вывод не лучший, но сдать можно :)

Лабораторная работа №2

Лабораторная

формат doc
размер 238.11 КБ
добавлен 19 января 2008 г.

Исследование динамических характеристик и параметров биполярных транзисторов

Лабораторная работа №2

Лабораторная

формат xls, doc
размер 128.83 КБ
добавлен 16 января 2007 г.

ПП2. Лабораторная работа "Исследование динамических характеристик и параметров биполярных транзисторов" для студентов специальности "Промышленная электроника"

Лабораторная работа №4

Лабораторная

формат doc, xls
размер 156.25 КБ
добавлен 16 января 2007 г.

ПП4. Лабораторная работа "Исследование статических характеристик, статических и дифференциальных параметров полевых транзисторов" для студентов специальности "Промышленная электроника"

Негоденко О.Н., Мирошниченко С.П. Материалы электронной техники

формат pdf
размер 1.5 МБ
добавлен 20 августа 2011 г.

Конспект лекций. Таганрог: Изд-во ТРТУ, 2006. В 2-х частях. - Ч.1, 66 с. Ч.2. 47 c. В пособии приводятся основные физические явления в полупроводниках и активных диэлектриках, описываются их электрические, физико-химические и механические свойства. Методическое пособие предназначено для изучения курса "Материалы электронной техники" студентами специальностей 210200, 210600, а также может быть полезно студентам других специальностей. Пособие под...

Пасынков В.В., Сорокин В.С. Материалы электронной техники

формат djvu
размер 6.24 МБ
добавлен 30 октября 2009 г.

Учеб. для студ. вузов по спец. электронной техники. 3-е изд. — СПб.: Издательство «Лань», 2001. — 368 с, ил. — (Учебники для вузов. Специальная литература). В книге изложены основы строения материалов и физики явлений, происходящих в проводниковых, полупроводниковых, диэлектрических и магнитных материалах, их электрические и магнитные свойства, а также сведения о технологии производства важнейших материалов и их применении.

Расчетная работа 3. Вариант 11.

rgr

формат doc
размер 34.2 КБ
добавлен 30 сентября 2006 г.

Расчетно-графическая работа по твердотельной электронике №3. Вариант 11.

Физические измерения в микроэлектронике

формат pdf
размер 3.29 МБ
добавлен 28 марта 2011 г.

/ В. А. Пилипенко, В. Н. Пономарь, В. А. Горушко, А. А. Солонинко -Мн.: БГУ, 2003. - 171 с.: ил. ISBN 985-445-950-0. В монографии систематизированы физические методы исследования структуры, фазового состава, электрофизических свойств материалов и многослойных тонкопленочных структур, используемых в микроэлектронике для создания СБИС, а также функционального контроля микросхем. Представлены результаты по применению различных методов контроля на ра...