Дорфман В.Ф. Микрометаллургия в микроэлектронике

формат djvu
размер 12.91 МБ
добавлен 17 июня 2010 г.

Изложены физико-химические основы технологии полупроводниковых приборов и интегральных схем. Проанализировано влияние размерных эффектов в твердом теле и в процессах его формирования на развитие микроэлектроники, обсуждены предельные возможности миниатюризации и интеграции полупроводниковых приборов. Рассмотрены механизмы неравновесных процессов формирования структуры приборов. Систематизированы известные селективные физико-химические явления, используемые в технологии, особое внимание уделено принципам получения согласованых цепей технологических операций и проблеме полного устранения механических совмещений шаблонов в процессах производства интегральных схем.
Книга предназначена для инженеров и научных работников, занимающихся исследованиями полупроводниковых материалов и разработкой полупроводниковых приборов. Может быть полезна аспирантам и студентам старших курсов, специализирующимся по вопросам материаловедения полупроводников.

Похожие разделы

Смотрите также

Кобболд Р. Теория и применение полевых транзисторов

формат djvu
размер 3.24 МБ
добавлен 16 августа 2011 г.

Пер. с англ. Макарова В.В. Л., "Энергия", 1975 г. 304 стр. с ил. Книга охватывает широкий круг вопросов, начиная от физических принципов работы полевых приборов различных типов (транзисторов с управляющим p-n- переходом, МОП- транзисторов, плёночных полевых транзисторов) и кончая методами расчёте электронных схем, выполненных на этих приборах. Вопросы теории сопоставлены с данными исследований реальных устройств, рассмотрены ограничения, определя...

Лекции по ТТЭ

Статья

формат doc
размер 3.3 МБ
добавлен 01 октября 2006 г.

Общие сведения об электронных приборах. Классификация. Режимы, характеристики и параметры электронных приборов. Модели электронных приборов. Электрофизические свойства полупроводников. Концентрация носителей заряда в равновесном состоянии полупроводника Неравновесное состояние полупроводника. Электрические переходы в полупроводниковых приборах. Электрические переходы. Электронно-дырочный переход в равновесном состоянии. Электронно-дырочный перехо...

Физические измерения в микроэлектронике

формат pdf
размер 3.29 МБ
добавлен 28 марта 2011 г.

/ В. А. Пилипенко, В. Н. Пономарь, В. А. Горушко, А. А. Солонинко -Мн.: БГУ, 2003. - 171 с.: ил. ISBN 985-445-950-0. В монографии систематизированы физические методы исследования структуры, фазового состава, электрофизических свойств материалов и многослойных тонкопленочных структур, используемых в микроэлектронике для создания СБИС, а также функционального контроля микросхем. Представлены результаты по применению различных методов контроля на ра...