Старый Оскол: ТНТ, 2008. — 320 с.
ISBN 978-5-94178-194-2
Методы наноизмерений
способы получения нанопорошков, поверхностных и объёмных наноструктур
устройства нанопозиционирования и наноперемещения
методы и средства размерной нанообработки
обработка сканирующими зондами
нанолитография
ISBN 978-5-94178-194-2
Методы наноизмерений
способы получения нанопорошков, поверхностных и объёмных наноструктур
устройства нанопозиционирования и наноперемещения
методы и средства размерной нанообработки
обработка сканирующими зондами
нанолитография