Монография. - Таганрог, ТТИ ЮФУ, 2008. - 153 с.
На основе современных исследований описываются механизмы газочувствительности полупроводниковых оксидных материалов и технологии их получения, технические характеристики сенсоров газов. Особый упор делается на исследование технологии получения наноразмерных пленок оксидных материалов состава SiCbMeOy и SiCbSnOxMeOy (Me - Ag, Cu, Pt, Mn), получаемых из золь-гель растворов на основе тетраэтоксисилана. Показано, что полученные материалы проявляют селективные и газочувствительные свойства к конкретному газу с чувствительностью не хуже 2 млн" (1 ррт) при невысоких ( 150 °С) температурах их нагрева.
На основе современных исследований описываются механизмы газочувствительности полупроводниковых оксидных материалов и технологии их получения, технические характеристики сенсоров газов. Особый упор делается на исследование технологии получения наноразмерных пленок оксидных материалов состава SiCbMeOy и SiCbSnOxMeOy (Me - Ag, Cu, Pt, Mn), получаемых из золь-гель растворов на основе тетраэтоксисилана. Показано, что полученные материалы проявляют селективные и газочувствительные свойства к конкретному газу с чувствительностью не хуже 2 млн" (1 ррт) при невысоких ( 150 °С) температурах их нагрева.