Антонов Ю.Н. Индуктивное моделирование лазерной подгонки пленочных резисторов

Монография. Ульяновск: УлГТУ, 2009, 215 с. Современное машиностроение и приборостроение в значительной степени зависят от уровня развития как полупроводниковой, так и гибридной технологий микроэлектроники. Пленочные резисторы и гибридные интегральные схемы находят применение в тех областях, где требуется, прежде всего, высокая точность и надежность. Монография посвящена применению моделирования лазерной подгонки пленочных резисторов для прогнозирования точности сопротивления.
Предназначена для аспирантов, научных работников и инженеров, специализирующихся на применении лазерных технологий в микроэлектронике.