Отчет, представленный на конкурс НИОКР Молодых ученых и
Специалистов НЯЦ РК (Прикладные исследования). Курчатов 2006. - 15
с.
Цель работы – исследование процесса фазообразования в пленках, полученных методом магнетронного осаждения.
В результате проведенных исследований получены следующие результаты:
Установлен порог образование фазы TiN при концентрации азота в плазмообразующем газе 10 об.%.
Установлен порог образования сверхпроводящей фазы ?1-NbN при концентрации 15 об.%.
Путем систематических исследований найдены оптимальные технологические параметры для получения покрытий с заданными параметрами кристаллической решетки.
В полученных пленках нитрида ниобия впервые обнаружен скачок сопротивления вблизи перехода в сверхпроводящее состояние (аномальная сверхпроводимость). Яркость этого явления коррелирует с шириной пиков дифрактограм.
Цель работы – исследование процесса фазообразования в пленках, полученных методом магнетронного осаждения.
В результате проведенных исследований получены следующие результаты:
Установлен порог образование фазы TiN при концентрации азота в плазмообразующем газе 10 об.%.
Установлен порог образования сверхпроводящей фазы ?1-NbN при концентрации 15 об.%.
Путем систематических исследований найдены оптимальные технологические параметры для получения покрытий с заданными параметрами кристаллической решетки.
В полученных пленках нитрида ниобия впервые обнаружен скачок сопротивления вблизи перехода в сверхпроводящее состояние (аномальная сверхпроводимость). Яркость этого явления коррелирует с шириной пиков дифрактограм.