Кривобоков В.П. Плазменные покрытия (свойства и применение)

формат pdf
размер 1.69 МБ
добавлен 01 августа 2011 г.

Учебное пособие. - Томск, ТПУ, 2011. - 137 с.

В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы и вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и описаны способы предварительной очистки поверхности перед нанесением на нее тонких пленок. Рассмотрены физические, механические и химические свойства покрытий, различающихся по химическому составу и областям применения, а также основные методы измерения и контроля параметров покрытий.

Предназначено для бакалавров, обучающихся по направлению 011200 "Физика" и магистров физики, обучающихся по программам: "Физика плазмы", "Пучковые и плазменные технологии", "Водородная энергетика".

Похожие разделы

Смотрите также

Габович М.Д. Физика и техника плазменных источников ионов

формат pdf
размер 5.37 МБ
добавлен 06 марта 2011 г.

Москва, Атомиздат, 1972, 304 с. В книге систематизированы сведения об устройстве, физических основах действия, свойствах и параметрах плазменных источников ионов - приборов, которые нашли широкое применение в различных областях науки и техники. Рассматриваются плазменные источники атомарных и молекулярных ионов водорода, многозарядных ионов, отрицательных ионов, ионов тугоплавких элементов, а также способы формирования ионных пучков, нейтрализаци...

Зыков А.В., Фареник В.И., Юнаков Н.Н. Вакуумно-плазменные технологии нанесения покрытий

Практикум

формат pdf
размер 372.01 КБ
добавлен 01 июля 2011 г.

Учебно-методические указания. Учебно-научный комплекс физических технологий Харьковского национального университета им. В.Н. Каразина и Научного физико-технологического центра ХГНУ, Харьков, 1999., 22с. Методические указания могут быть использованы при изучении курсов «Функциональные покрытия», «Современные вакуумно-плазменные технологические системы», которые читаются студентам 4-5 курсов кафедры Физических технологий Физико-технического факульт...

Кривобоков В.П. Радиационные и плазменные технологии: терминологический справочник

Справочник

формат pdf
размер 970.86 КБ
добавлен 20 января 2012 г.

Новосибирск: Наука, 2010. - 334 с. Справочник является пособием по терминологии в сфере радиационных и плазменных технологий. Автор попытался собрать, систематизировать и дать определение терминам, используемым в этой области. Словарь содержит более тысячи слов и словосочетаний с переводом на английский язык. Предназначен для специалистов в области физики твердого тела, материаловедения, атомной энергетики и других смежных наук, а также для студе...

Морозов А.И. Введение в плазмодинамику

формат pdf
размер 8.41 МБ
добавлен 26 февраля 2011 г.

М.: ФИЗМАТЛИТ, 2006. - 576 с. - ISBN: 5-9221-0681-3 Описана иерархия «газовых» моделей классической неплотной плазмы. В рамках этих моделей рассматриваются основные плазменные системы и их практическая реализация: равновесные конфигурации, линейные и ударные волны, стационарные течения, элементы плазмохимии и принципы плазменных лазеров. Дано описание ряда космических объектов: планетарных вихрей, магнитосферы Земли, Солнца. В конце книги описан...

Морозов А.И. Введение в плазмодинамику

формат djvu
размер 12.11 МБ
добавлен 23 сентября 2009 г.

М.: ФИЗМАТЛИТ, 2006 Г. — 576 с. Описана иерархия «газовых» моделей классической неплотной плазмы. В рамках этих моделей рассматриваются основные плазменные системы и их практическая реализация: равновесные конфигурации, линейные и ударные волны, стационарные течения, элементы плазмохимии и принципы плазменных лазеров. Дано описание ряда космических объектов: планетарных вихрей, магнитосферы Земли, Солнца. В конце книги описаны прикладные плазмо...

Презентация - Плазменные покрытия

Презентация

формат ppt
размер 2.02 МБ
добавлен 03 апреля 2011 г.

Презентация -курса лекций "Плазменные покрытия" 32 слайда Кафедра ВЭПТ Лектор Соловьев А. А. Доцент кафедры ВЭПТ, Н. с. Института сильноточной электроники СО РАН

Презентация Радиационные и плазменные технологии обработки материалов

Презентация

формат pdf
размер 3.62 МБ
добавлен 02 июня 2011 г.

Лектор - Кривобоков В. П. Томский политехнический университет Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий 2010г.75 цв. слайдов с фотографиями установок (ЯШМА, БУЛАТ и др. ), ЭРД, трековых мембран и пр.

Туманов Ю.Н. Плазменные и высокочастотные процессы получения и обработки материалов в ядерном топливном цикле: настоящее и будущее

формат djvu
размер 11.19 МБ
добавлен 18 октября 2009 г.

Туманов Ю. Н. Плазменные и высокочастотные процессы получения и обработки материалов в ядерном топливном цикле: настоящее и будущее. — М.: ФИЗМАТЛИТ, 2003. — 760 с. Рассмотрены применения технологической плазмы и высокочастотных электромагнитных полей в ядерном топливном цикле (ЯТЦ) и в смежных областях технологии и техники в комбинации с процессами сорбционного, экстракционного и ректификационного аффинажа. Проанализирован уровень развития плаз...

Francombe M.H., Vossen J.L. Physics of Thin Films. Plasma Sources for thin film deposition and etching

формат pdf
размер 36.71 МБ
добавлен 05 марта 2011 г.

Academic Press, San Diego, 1994, 322 c. В книге представлены несколько больших обзоров: 1) Конструкция плазменных источников высокой плотности для обработки материалов 2) Плазменные источники на основе электрон-циклотронного резонанса и их использование для плазменного осаждения тонких пленок 3) Несбалансированное магнетронное распыление 4) Формирование частиц (пылевых) в технологической плазме.

Powell R.A., Rossnagel S.M. Thin Films

формат pdf
размер 13.6 МБ
добавлен 02 марта 2011 г.

San Diego, Academic Press, 1999, 419 p. Рассмотрены различные конструкции плазменных распылительных систем для осаждения тонких пленок, а также происходящие в них физические процессы. Кроме Введения, содержит следующие главы: 1) Физика распыления 2) Плазменные системы 3) Планарный магнетрон 4) Распылительные устройства 5) Направленное осаждение 6) Планаризованное PVD: использование повышенных температур и/или высокого давления 7) Ионизованное маг...