М. , 2008 г. 340 стр. Новый учебник по физике микро- и наносистем.
Содержит подробную практическую информацию по различным методам
формирования наноструктур (зондовые методы, эпитаксиальные,
химические и т. д. ). Понятным языком описаны физические явления,
лежащие в основе создания микро- и наносистем, а также приборов на
их основе.