Лучинин В.В. Физика и технология микро

Подождите немного. Документ загружается.

CMY

Обложка ПЖЭ fin в кривых.ai 1 03.11.2011 12:40:35Обложка ПЖЭ fin в кривых.ai 1 03.11.2011 12:40:35

Санкт-Петербургский государственный

электротехнический университет «ЛЭТИ»

ФИЗИКА И ТЕХНОЛОГИЯ

МИКРО- И НАНОСИСТЕМ

65-летию

кафедры микро- и наноэлектроники

посвящается

Санкт-Петербург

2011

УДК 539.21; 541.182

ББК 22.37

Л12

Л12 Физика и технология микро- и наносистем: Сб. научн. трудов /

Под общ. ред. В. В. Лучинина. СПб.: Русская коллекция, 2011. 240 с.

ISBN 978-5-901440-72-8

Сборник посвящен 65-летию кафедры микро- и наноэлектроники

СПбГЭТУ «ЛЭТИ» и содержит материалы по истории кафедры и ос-

новным научно-образовательным направлениям ее деятельности.

УДК 539.21; 541.182

ББК 22.37

ISBN 978-5-901440-72-8 Ó Коллектив кафедры микро-

и наноэлектроники СПбГЭТУ «ЛЭТИ»

СОДЕРЖАНИЕ

Уважаемый профессор. 80 лет Юрию Михайловичу Таирову ............... 6

В. В. Лучинин, Ю. М. Таиров. К 65-летию кафедры микро-

и наноэлектроники. Фундаментальность,

профессионализм, новизна ..................................................................... 10

В. В. Лучинин. Наноинженерия – основа шестого

технологического уклада ....................................................................... 21

А. В. Афанасьев, В. А. Ильин, А. В. Корляков, А. О. Лебедев,

В. В. Лучинин, Ю. М. Таиров. Карбид кремния.

Вклад СПбГЭТУ «ЛЭТИ». Признание и перспективы ......................... 50

И. Е. Грачева, В. А. Мошников, О. А. Шилова. Новые материалы

с фрактальной структурой ...................................................................... 87

Г. Ф. Глинский. Развитие теории низкоразмерных систем ..................106

О. С. Комков, А. Н. Пихтин, С. А. Тарасов. Оптическая

спектроскопия структур на основе арсенида галлия............................115

В. И. Зубков, А. В. Соломонов. Диагностика полупроводниковых

гетероструктур методами адмиттансной спектроскопии ....................126

А. В. Корляков. Метод аналогий при анализе

и проектировании микросистем ............................................................141

А. В. Корляков, Н. П. Лазарева, Л. А. Марасина.

Образовательные стандарты третьего поколения

с приставкой «нано» ..............................................................................161

А. В. Афанасьев, А. С. Иванов, В. А. Ильин, В. В. Лучинин.

Лабораторно-методическое обеспечение образовательного

процесса в интересах наноиндустрии ...................................................178

В. А. Мошников, Н. В. Пермяков. Информационное

представительство кафедры микро- и наноэлектроники

в интернет-пространстве .......................................................................195

Диссертации, выполненные

на кафедре микро- и наноэлектроники ................................................200

«Человеческий капитал» кафедры (подборка фотографий) ................224

Авторы

А. В. Афанасьев,

к. ф.-м. н., доцент

Г. Ф. Глинский,

д. ф.-м. н., профессор

И. Е. Грачева,

к. ф.-м. н., доцент

В. И. Зубков,

д. ф.-м. н., профессор

А. С. Иванов,

к. т. н., доцент

В. А. Ильин,

к. ф.-м. н., доцент

О. С. Комков,

к. ф.-м. н., доцент

А. В. Корляков,

д. т. н., доцент

Н. П. Лазарева,

к. т. н., доцент

А. О. Лебедев,

к. ф.-м. н., с. н. с.

В. В. Лучинин,

д. т. н., зав. кафедрой

Л. А. Марасина,

к. т. н., доцент

В. А. Мошников,

д. ф.-м. н., профессор

Н. В. Пермяков,

аспирант

А. Н. Пихтин,

д. ф.-м. н., профессор

А. В. Соломонов,

д. ф.-м. н., профессор

Ю. М. Таиров,

д. т. н., профессор

С. А. Тарасов,

к. ф.-м. н., доцент

О. А. Шилова,

д. х. н., профессор

Авторы материалов настоящего сборника

являются специалистами в области

микро- и наноэлектроники.

Их научные интересы лежат

в сфере физики и технологии

микро- и наносистем.

УВАЖАЕМЫЙ ПРОФЕССОР.

80 лет Юрию Михайловичу Таирову

Юрий Михайлович Таиров родился 1 ноября 1931 г. В 1950 г. по-

ступил в ЛЭТИ, но вскоре был репрессирован по так называемому

«ленинградскому делу» и выслан в Казахстан как «сын врага народа».

В 1953 г., после смерти Сталина, был реабилитирован и восстановлен в

качестве студента ЛЭТИ, а в 1959 г. по-

лучил диплом инженера по специально-

сти «Диэлектрики и полупроводники».

Вся его трудовая деятельность

связана с нашей кафедрой: 1959–1960

гг. – инженер Проблемной лаборатории

электрофизических процессов в диэлек-

триках и полупроводниках; 1960–1963

гг. – аспирант; 1964–1965 гг. – асси-

стент; 1965–1975 гг. – доцент; с 1976 г.

– профессор кафедры. На 1959–1960 учебный год приходится его ста-

жировка в Калифорнийском университете (США). Там Юрий Михай-

лович познакомился с достижениями зарубежных ученых, прослушал

курсы квантовой механики, физики твердого тела, теории полупровод-

ников. По возвращении он стал заниматься синтезом монокристалли-

ческого карбида кремния и в 1963 г. успешно защитил кандидатскую, а

в 1975 г. – докторскую диссертации по этой тематике.

Нашей кафедрой Юрий Михайлович руководил ровно четверть

века (1984–2009 гг.) – дольше, чем Николай Петрович Богородицкий

(22 года) и Владимир Васильевич Пасынков (18 лет). Начало его прав-

ления совпало с окончанием «серебря-

ного века» кафедры (вторая половина

восьмидесятых), а потом начались «ли-

хие девяностые». Непродуманные ре-

формы разрушали систему науки и выс-

шей школы. Одно за другим «вымира-

ли» научно-производственные предпри-

ятия электронного профиля. Стремитель-

но падал престиж научно-преподаватель-

ской деятельности. Зарплаты научного сотрудника, доцента, профессо-

ра стали соизмеримы с зарплатами вахтера и дворника (а зачастую и

меньше). Естественным следствием этого стали трудности набора сту-

дентов на многие физико-технические специальности, а также теку-

честь научно-педагогических кадров. Специалисты уезжали за грани-

цу, уходили в бизнес (порой в весьма сомнительный) – занимались чем

угодно, лишь бы прокормить себя и семьи. Выпускникам технических

вузов стало трудно найти работу по специальности. Для них исчезло

такое ранее привычное понятие, как распределение по предприятиям.

В условиях этого всеобщего хаоса Юрию Михайловичу удалось

удержать от разрушения ядро преподавательского состава кафедры,

сохранить и укрепить ее лучшие традиции, обеспечить приток талант-

ливой молодежи и преемственность научно-педагогических школ.

При его активном участии были разработаны учебные планы и

начата подготовка специалистов по новой специальности «Микросис-

темная техника», открыто уровневое обучение «бакалавр – магистр», в

том числе по новому направ-

лению «Нанотехнология», раз-

работаны образовательные стан-

дарты третьего поколения по

направлениям «Нанотехноло-

гии и микросистемная техни-

ка» и «Электроника и нано-

электроника». Позиционирова-

ние нашей кафедры как ведущей образовательной структуры России

по этим направлениям в значительной степени связано с именем

Ю. М. Таирова. Его человеческое обаяние и дипломатический дар по-

зволили создать по-петербургски деловую и доброжелательную среду

для ведущих профессоров и руководителей вузов страны, участвую-

щих в подготовке кадров по данным направлениям.

Безусловными успехами кафедры в «таировскую эпоху» являют-

ся и организация продуманного, «мягкого» перехода на уровневую

систему обучения, и проекты, позволившие сформировать в новых ус-

ловиях систему хоздоговорных связей, обеспечить востребованность

кафедры в федеральных и международных программах.

Уже невозможно перечислить, какие именно решения Юрия Ми-

хайловича (а они не всегда были простыми) позволили кафедре вы-

жить. Но совершенно очевидно, какие его качества как руководителя

были востребованы и оценены по достоинству в это трудное время.

В первую очередь, стоит отметить блестящую эрудицию и ог-

ромный авторитет в вузе, городе, стране и за рубежом. Профессор

Ю. М. Таиров уже более 40 лет руководит лабораторией широкозон-

ных полупроводников. Количество дипломных проектов и диссерта-

ций, защищенных в ней российскими и иностранными студентами, ас-

пирантами и соискателями, уже трудно сосчитать, как трудно сосчи-

тать количество научных публикаций, авторских свидетельств и патен-

тов. Метод выращивания монокристаллов кар-

бида кремния, одним из авторов которого явля-

ется Ю. М. Таиров, известен во всем мире как

«метод ЛЭТИ». Он стал технологической осно-

вой промышленного освоения этого очень вос-

требованного сегодня материала.

Юрий Михайлович является членом меж-

дународного комитета по карбиду кремния,

председателем или членом программных коми-

тетов всех отечественных и зарубежных конференций по карбиду

кремния, членом Научного совета РАН по физике полупроводников.

Он входит в состав редколлегий ведущих профильных журналов, таких

как «Физика и техника полупроводников», «Известия вузов России.

Электроника», «Известия вузов России. Материалы электронной тех-

ники». Он – автор более 300 научных работ, в том числе 5 монографий

и 70 изобретений. В его активе 6 «выпущенных в свет» докторов наук

и более 70 кандидатов.

Особо стоит отметить педагогические заслуги Юрия Михайлови-

ча: прекрасный лектор и методист, автор двух учебников и многих

учебных пособий.

Незаурядные организаторские способности Ю. М. Таирова про-

явились еще в молодые годы. Он активно участвовал в студенческом

строительном движении (бригадир, командир районного отряда), был

секретарем комитета комсомола ЛЭТИ, членом и заместителем секре-

таря парткома. С 1970 по 1988 гг. Юрий Михайлович являлся прорек-

тором ЛЭТИ по научной работе и в этом качестве

многое сделал для развития в нашем вузе пер-

спективных научных направлений. Среди его луч-

ших качеств как руководителя следует отметить

уравновешенность; способность видеть перспек-

тивы; доступность для каждого сотрудника, аспи-

ранта и студента; готовность поддержать здравую

инициативу. Решающую роль в том, чтобы гермо-

зона ЛЭТИ развивалась как целостная система, а

не представляла собой эклектическую совокупность «удельных кня-

жеств» в виде лабораторий разных кафедр, сыграл Ю. М. Таиров.

Портрет третьего заведующего нашей кафедрой будет неполным,

если не отметить еще одну важную грань его личности: он – истинный

петербургский интеллигент, тонко чувствующий и понимающий музы-

ку, блестяще эрудированный во многих областях искусства и культуры,

предельно доброжелательный по отношению к людям. (Когда я в сту-

денческие годы пришел работать в его лабораторию, то воспринял его

как «человека с другой планеты» – настолько он был не похож на всех

окружающих. Сейчас понимаю, что в его обаянии было три составляю-

щих: гены, воспитание и школа работы в «вавиловском» ректорате.)

Сегодня кафедра микро- и наноэлектроники является одним из са-

мых мощных подразделений СПбГЭТУ «ЛЭТИ» – и по объемам фунда-

ментальных и прикладных НИР, и по качеству преподавательского со-

става, и по востребованности выпускников. Она имеет заслуженный ав-

торитет и в российской высшей школе, и за рубежом. В этом очевидном

для всех факте огромная личная заслуга Юрия Михайловича Таирова.

Его многолетний труд справедливо отмечен высокими наградами

(орден Трудового Красного Знамени, орден «Знак Почета», медали,

почетный знак ЛЭТИ «За заслуги») и почетными званиями (Заслужен-

ный деятель науки и техники РФ, Заслуженный профессор ЛЭТИ, По-

четный доктор Новгородского госуниверситета). Но главной наградой,

безусловно, является уважение студентов, аспирантов и коллег.

Здоровья и новых успехов Вам, уважаемый профессор!

В. Лучинин

Лучинин В.В. Физика и технология микро - и наносистем

Подождите немного. Документ загружается.