Анненков Ю.М. и др. Основы электротехнологий: практикум

Подождите немного. Документ загружается.

каф. ЭИКТ ЭЛТИ ТПУ

101

2. Пояснить термин «Десублимация», что он означает и его физичес-

кий смысл.

3. Каким законам подчиняются пары расплавленного металла в ваку-

уме?

4. От чего зависит скорость испарения металла и каким законом она

описывается?

5. От чего зависит качество напыленной металлической пленки, и ка-

ким законом описывается скорость осаждения металла?

2.5. Литература

1. Лапиров - Скобло М.Я. Высокий вакуум.- М.: ГНТИ, 1931, 501 с.

2. Менх Г.Х. Техника высокого вакуума.- М.: Энергия, 1965.- 559 с.

3. Ренне В.Т. Электрические конденсаторы.- М.: Госэнергоиздат,

1959.- 602 с.

4. Гулевич А.И., Киреев А.П. Производство силовых конденсаторов.-

М.: Высшая школа, 1969.- 439 с.

каф. ЭИКТ ЭЛТИ ТПУ

Приложение

Основные физические свойства химических элементов.

Металл Хими-

ческий

символ

Атомная

масса

Валент-

ность

Плотность

ρ,

г/см

Темпера-

тура плав-

ления

пл

, ,

Удельная

теплоём-

кость

уд

Дж/ кг⋅К

Удельная

тепло-

провод-

ность

χ,

Вт/кг⋅К

Модуль

упру-

гости

ГПа

Удельное

сопро-

тивление

ρ,

мкОм⋅м

Алюминий Al 26,982 +3 2,7 660 923 218 70,8 0,0265

Вольфрам W 183,84 +6 19,3 3400 142 167 407 0,055

Железо Fe 55,845 +3 7,87 1540 453 73,3 211 0,097

Золото Au 196,97 +3 19,3 1063 134 312 77,5 0,0225

Медь Cu 63,546 +2 8,92 1083 386 406 129 1,85

Натрий Na 22,989 +1 0,97 98 1220 134 10 0,042

Никель Ni 58,693 +2 8,96 1453 440 75,5 196 0,042

Серебро Ag 107,87 +1 10,49 961 235 453 80 0,015

102

каф. ЭИКТ ЭЛТИ ТПУ

103

СОДЕРЖАНИЕ

Изготовление отверстий в твёрдых материалах с помощью

излучения оптического квантового генератора ……………………....... 4

Светолучевые технологии нанесения изоляционных и защитных

покрытий………………………………………………………………....

2020

Плазменное травление тонких диэлектрических плёнок………… 26

Электронно-лучевые технологии получения новых

материалов и изделий…………………………………………….......... 34

Технологии высокочастотного нагрева диэлектриков ……………. 44

Ультразвуковая прошивка твёрдых материалов …………………. 52

Ультразвуковая микросварка элементов и интегральных схем….. 62

Электрохимическая обработка материалов ……………….………. 69

Анодное растворение ......................................................72

Катодное восстановление .............................................. 74

Электрическая контактная сварка металлов........................................82

Термовакумное напыление металлов ...................................................92

Приложение ………………………………………………………… 102

каф. ЭИКТ ЭЛТИ ТПУ

104

Юрий Михайлович Анненков

Валерий Иванович Меркулов

Михаил Михайлович Михайлов

Влада Владиславовна Шарафутдинова

ОСНОВЫ ЭЛЕКТРОТЕХНОЛОГИЙ

Лабораторный практикум

Научный редактор Ю.М. Анненков

Подписано к печати

Формат 60 х 84/16. Бумага писчая № 1.

Печать RISO. Усл.печ.л. Усл.изд.л. .

Тираж экз. Заказ.........

ИПФ ТПУ. Лицензия ЛТ

№ 1 от 18.07.94.

Ротапринт ТПУ, 634034, Томск, пр. Ленина, 30.