Васильев А.Г., Колковский Ю.В., Концевой Ю.А. СВЧ приборы и устройства на широкозонных полупроводниках

Москва: Техносфера, 2011. — 416 с. В книге представлено обобщение накопленного опыта по созданию транзисторов на основе широкозонных материалов, в частности, транзисторов на гетераструктурах типа AlGaN/GaN и СВЧ устройств на их основе. Подробно описаны свойства широкозонных полупроводников, методы их получения и исследования, а также способы создания гетероструктур на различных подложках. Рассмотрена физика гетеропереходов и двумерного газа носителей заряда. Детально анализируется технология производства транзисторов с учетом имеющегося опыта их реального изготовления. Приведены параметры транзисторов и предоставлена характеристика перспективных направлений в области их использования. Рассмотрены различные системы на кристалле и в корпусе, созданные на основе гетеротранзисторов типа AlGaN/GaN/Al₂O₃ и AlGaN/GaN/SiC. Книга будет полезна специалистам в области электроники, исследователям, инженерам-практикам и разработчикам радиоэлектронной аппаратуры. Формирование СВЧ сигналов в современных твёрдотельных радиоэлектронных радиосистемах.
Обеспечение высокого качества сигналов с помощью СВЧ приборов на новых полупроводниковых материалах.
Конструкции СВЧ транзисторов на широкозонных материалах и гетероструктурах.
Технологические процессы создания GaN СВЧ транзисторов и интегральных схем.
Контроль параметров гетероструктур в процессе разработки и производства.
Контроль технологии, параметров и надёжности GaN-транзисторов.