Автореферат диссертации на соискание ученой степени
кандидата физико-математических наук Санкт-Петербург 2010, 16с.
Специальность
01.04.07. – физика конденсированного состояния
Работа выполнена на кафедре электроники твердого тела физического факультета Санкт-Петербургского государственного университета
Целью работы было развитие и совершенствование неразрушающих методик спектроскопии отражения рентгеновских лучей и фотоэлектронной спектроскопии высоких энергий для изучения электронного и атомного строения синтезированных различными методами на кремнии тонких нанослоев материалов с высокой диэлектрической постоянной, в том числе, строения и протяженности границы раздела пленка-подложка. Поэтому проведенные в работе систематические исследования нанопленок Al2O3, TiO2 и HfO2, синтезированных разными технологическими приемами на кремнии, представляют как фундаментальный, так и практический интерес.
Специальность
01.04.07. – физика конденсированного состояния
Работа выполнена на кафедре электроники твердого тела физического факультета Санкт-Петербургского государственного университета
Целью работы было развитие и совершенствование неразрушающих методик спектроскопии отражения рентгеновских лучей и фотоэлектронной спектроскопии высоких энергий для изучения электронного и атомного строения синтезированных различными методами на кремнии тонких нанослоев материалов с высокой диэлектрической постоянной, в том числе, строения и протяженности границы раздела пленка-подложка. Поэтому проведенные в работе систематические исследования нанопленок Al2O3, TiO2 и HfO2, синтезированных разными технологическими приемами на кремнии, представляют как фундаментальный, так и практический интерес.