Диссертация на соискание научной степени кандидата
физико-математических наук. - Харьков, НФТЦ МОН Укр. и НАН Укр.,
2011. - 155 с.
Специальность 01.04.07 – физика твердого тела
Диссертация посвящена исследованию физико-механических характеристик нанокомпозитных покрытий на основе Zr, Ti, Si и N, синтезированных методом вакуумно-дугового осаждения с применением ВЧ стимуляции. Покрытия формировались методом вакуумно-дугового осаждения из цельнолитого катода Zr+Ti+Si. Изучалось влияние физико-технологических параметров осаждения на элементный и фазовый состав покрытий. Показано, что увеличение потенциала смещения ВЧ СМ U от -100 В до -200 В приводит к более интенсивному протеканию химических реакций образования нитридов.
Список сокращений
Введение
1 Закономерности формирования нанокомпозитных покрытий вакуумно-дуговым методом
Физические основы формирования нанокомпозитных покрытий
Физические методы осаждения покрытий
Физико-механические свойства нанокомпозитных покрытий
Влияние температуры на свойства нанокомпозитных покрытий
Выводы к разделу 1
2 Оборудование для нанесения покрытий, материалы и методы исследований свойств нанокомпозитов
Материалы, использованные в работе
Оборудование для нанесения покрытий
Методика определения адгезионной прочности покрытия
Исследование структуры и состава нанокомпозитных покрытий
Исследование механических характеристик покрытий
Изучение теплофизических характеристик нанокомпозитных покрытий
Выводы к разделу 2
3 Влияние физических параметров осаждения на элементный и фазовый состав нанокомпозитных покрытий
Элементный состав и морфология поверхности нанокомпозитных покрытий на основе TiN; ZrN; Zr, Si и N; Ti, Si и N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения
Элементный состав и морфология поверхности нанокомпозитных покрытий на основе Zr, Ti, Si и N
Измерение толщины покрытий на основе Zr, Ti, Si и N по интенсивности K? спектральной линии Fe
Фазовый состав нанокомпозитных покрытий на основе ZrN; Zr, Si и N; Zr, Ti, Si и N
Закономерности развития макронапряженного состояния в зависимости от режимов осаждения металлических ионно-плазменных конденсатов
Выводы к разделу 3
4 Исследование термической стабильности нанокомпозитных покрытий на основе Zr, Ti, Si и N в среде воздуха и в вакууме
Термическая стойкость фазового состава, структуры и напряженного состояния нанокомпозитных покрытий на основе Zr, Ti, Si и N
Выводу к разделу 4
5 Механические характеристики нанокомпозитных покрытий на основе Zr, Ti, Si и N
Физические факторы, влияющие на механические характеристики нанокомпозитных покрытий
Адгезионная прочность нанокомпозитных покрытий на основе Zr, Ti, Si и N
Механические характеристики нанокомпозитных покрытий на основе ZrN; Zr, Si и N; Ti, Si и N
Механические характеристики покрытий на основе Zr, Ti, Si и N
Выводы к разделу 5
Общие выводы
Список использованных источников
Специальность 01.04.07 – физика твердого тела
Диссертация посвящена исследованию физико-механических характеристик нанокомпозитных покрытий на основе Zr, Ti, Si и N, синтезированных методом вакуумно-дугового осаждения с применением ВЧ стимуляции. Покрытия формировались методом вакуумно-дугового осаждения из цельнолитого катода Zr+Ti+Si. Изучалось влияние физико-технологических параметров осаждения на элементный и фазовый состав покрытий. Показано, что увеличение потенциала смещения ВЧ СМ U от -100 В до -200 В приводит к более интенсивному протеканию химических реакций образования нитридов.
Список сокращений
Введение
1 Закономерности формирования нанокомпозитных покрытий вакуумно-дуговым методом
Физические основы формирования нанокомпозитных покрытий
Физические методы осаждения покрытий
Физико-механические свойства нанокомпозитных покрытий
Влияние температуры на свойства нанокомпозитных покрытий
Выводы к разделу 1
2 Оборудование для нанесения покрытий, материалы и методы исследований свойств нанокомпозитов
Материалы, использованные в работе
Оборудование для нанесения покрытий
Методика определения адгезионной прочности покрытия
Исследование структуры и состава нанокомпозитных покрытий
Исследование механических характеристик покрытий
Изучение теплофизических характеристик нанокомпозитных покрытий
Выводы к разделу 2
3 Влияние физических параметров осаждения на элементный и фазовый состав нанокомпозитных покрытий
Элементный состав и морфология поверхности нанокомпозитных покрытий на основе TiN; ZrN; Zr, Si и N; Ti, Si и N, полученных методом вакуумно-дугового осаждения
Элементный состав и морфология поверхности нанокомпозитных покрытий на основе Zr, Ti, Si и N
Измерение толщины покрытий на основе Zr, Ti, Si и N по интенсивности K? спектральной линии Fe
Фазовый состав нанокомпозитных покрытий на основе ZrN; Zr, Si и N; Zr, Ti, Si и N
Закономерности развития макронапряженного состояния в зависимости от режимов осаждения металлических ионно-плазменных конденсатов
Выводы к разделу 3
4 Исследование термической стабильности нанокомпозитных покрытий на основе Zr, Ti, Si и N в среде воздуха и в вакууме
Термическая стойкость фазового состава, структуры и напряженного состояния нанокомпозитных покрытий на основе Zr, Ti, Si и N
Выводу к разделу 4
5 Механические характеристики нанокомпозитных покрытий на основе Zr, Ti, Si и N
Физические факторы, влияющие на механические характеристики нанокомпозитных покрытий
Адгезионная прочность нанокомпозитных покрытий на основе Zr, Ti, Si и N
Механические характеристики нанокомпозитных покрытий на основе ZrN; Zr, Si и N; Ti, Si и N
Механические характеристики покрытий на основе Zr, Ti, Si и N
Выводы к разделу 5
Общие выводы
Список использованных источников