ПНИПУ. Пермь, 2014. 13 стр.
Введение
Теоретический обзор
Типы зондов и методы их изготовления
Пленочные кантилеверы
Кремниевые кантилеверы
Кантилеверы с вискерами на остриях
Исследовательская часть
Постановка задачи
Методика определения отклонения лазерного луча
Начальные данные
Результаты
Заключение
Список литературы
Теоретический обзор
Типы зондов и методы их изготовления
Пленочные кантилеверы
Кремниевые кантилеверы
Кантилеверы с вискерами на остриях
Исследовательская часть
Постановка задачи
Методика определения отклонения лазерного луча
Начальные данные
Результаты
Заключение
Список литературы