• формат jpg
  • размер 25.04 МБ
  • добавлен 05 ноября 2011 г.
Дороднов А.М., Кузнецов А.Н., Леонтьев С.В. Методика инженерно-физического расчета электродугового источника плазмы для процессов нанесения покрытий в вакууме
МГТУ им. Н.Э. Баумана 1999, 34 стр.
Метод генерации плазмы катодными пятнами вакуумной дуги дает возможность получать сильно ионизованную плазму любых проводящих веществ. В отличив от процессов с тепловой природой (энергия частиц Е = кТ = 1 . 0,3 эВ, где к - константа Больцмана), в которых практически отсутствует ионизация рабочего вещества, в рассматриваемом методе генерируется практически полностью ионизованная плазма с аномально высокими энергиями ионов Eионов порядка 100 эВ, превышающими напряжение горения дуги Uд Метод генерации плазмы катодным пятном позволяет с использованием ионов различных твердых веществ проводить процессы ионного нагрева, очистки поверхности изделий, ионного легирования и, наконец, нанесения различных проводящих покрытий из материала катода (металлы, сплавы и т.д.). С применением добавок реактивных газов ( N2, 02, С2Н2 и др.) можно получать покрытия из нитридов, оксидов, карбидов металлов и других соединений. Процесс обеспечивает предельную чистоту (по составу) поверхностных слоев и является высокоэкологичным.
В настоящее время такие источники плазмы (например, установки "Булат", "Пуск", "Плазменный котел" и др.) нашли широкое применение в промышленности. Установки подобного тина используются в России и за рубежом как для ионного легирования поверхности изделий, так и для нанесения различных покрытий - износостойких, жаростойких, коррозионностойких и др.
В учебном пособии излагаются принципы и методы расчета электродугового источника плазмы для процессов нанесения покрытий в вакууме, расчета параметров плазмы, рассматриваются закономерности ее разлета и взаимодействия потоков ионов, обладающих высокой энергией, с поверхностью изделия; приводится порядок расчета параметров технологического процесса и геометрических размеров источника, а также пример расчета.
Возможность скачивания данного файла заблокирована по требованию правообладателя.
Похожие разделы
Смотрите также

Барвинок В.А., Богданович В.И. Физические основы и математическое моделирование процессов вакуумного ионно-плазменного напыления

  • формат jpg
  • размер 102.23 МБ
  • добавлен 17 марта 2011 г.
В монографии рассмотрены физические основы и математическое моделирование процессов, происходящих при получении покрытий вакуумным ионно-плазменным методом. Основное внимание уделено процессам транспортировки плазмы металлов в разреженной газовой среде, электрообмену движущейся плазмы с поверхностью твердого тела и кинетике гетерогенного плазмохимического синтеза покрытий из ускоренных плазменных потоков. На основе новых физических представлений...

Давыденко В.И., Иванов А.А., Вайсен Г. Экспериментальные методы диагностики плазмы

  • формат pdf
  • размер 4.14 МБ
  • добавлен 08 ноября 2009 г.
Давыденко В. И., Иванов А. А., Вайсен Г. Экспериментальные методы диагностики плазмы. Лекции для студентов физического факультета. часть 1, Новосибирск: НГУ, 1999 г. , 148 с. В данном конспекте лекций, предназначенном для студентов кафедры физики плазмы НГУ, представлены в основном методы диагностики плазмы, которые условно можно назвать "неоптическими". Только в главе 5, написанной Г. Вайсеном (университет г. Лозанна, Швейцария), рассмотрены оп...

Дороднов А.М. Диагностика плазмы

  • формат pdf
  • размер 1.59 МБ
  • добавлен 22 января 2010 г.
Учебное пособие составлено в соответствии с программой курса "Физика плазмы" кафедры Э-8 МВТУ им. Н. Э. Баумана

Ивановский Г.Ф. Ионно - Плазменная обработка материалов

  • формат djvu
  • размер 82.41 МБ
  • добавлен 12 июля 2010 г.
М.: Радио и связь, 1986, 232 стр. Рассматриваются физико-химические основы и принципы применения ионно-плазменной обработки материалов в вакууме с целью очистки их поверхностей, травления на поверхности структур субмикронного размера, а также получения пленочных покрытий различных материалов. Анализируются основные закономерности и теоретические представления о процессах ионно-плазменной обработки, рассматриваются характеристики оборудования дл...

Котельников И.А., Ступаков Г.В. Лекции по физике плазмы

  • формат pdf
  • размер 1 МБ
  • добавлен 14 января 2011 г.
Учеб. пособие для студентов физического факультета НГУ / Новосиб. ун-т. Новосибирск. 1996. 136 с. Учебное пособие содержит конспективное изложение курса «Введение в физику плазмы», который читается в осеннем семестре для студентов третьего курса физического факультета, специализирующихся на кафедре физики плазмы. Основное внимание уделяется движению частиц в электромагнитном поле и кинетике плазмы, включая теорию элементарных процессов: кулоновс...

Котельников И.А., Ступаков Г.В. Лекции по физике плазмы

  • формат djvu
  • размер 403.87 КБ
  • добавлен 16 октября 2009 г.
Учеб. пособие для студентов физического факультета НГУ / Новосиб. ун-т. Новосибирск. 1996. 136 с. Учебное пособие содержит конспективное изложение курса «Введение в физику плазмы», который читается в осеннем семестре для студентов третьего курса физического факультета, специализирующихся на кафедре физики плазмы. Основное внимание уделяется движению частиц в электромагнитном поле и кинетике плазмы, включая теорию элементарных процессов: кулоновс...

Кривобоков В.П. Плазменные покрытия (свойства и применение)

  • формат pdf
  • размер 1.69 МБ
  • добавлен 01 августа 2011 г.
Учебное пособие. - Томск, ТПУ, 2011. - 137 с. В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы и вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и описаны способы предварительной очистки поверхности перед нанесением на нее тонких пленок. Рассмотрены...

Кузнецов Э.И., Щеглов Д.А. Методы диагностики высокотемпературной плазмы

  • формат djvu
  • размер 2.17 МБ
  • добавлен 16 ноября 2010 г.
Эдгард Иванович Кузнецов, Джолинард Андреевич Щеглов. Методы диагностики высокотемпературной плазмы. — М.: Атомиздат, 1974. — 161 с. Рассмотрен ряд вопросов, связанных с бесконтактными методами диагностики плазмы. Проблемы измерения основных параметров высокотемпературной плазмы проанализированы с точки зрения выбора оптимальных схем эксперимента. Особое внимание уделено вопросам получения пространственных распределений параметров плазмы из инте...

Кузьмичев А.И. Магнетронные распылительные системы. Кн. 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления

  • формат pdf
  • размер 11.38 МБ
  • добавлен 24 июня 2010 г.
Рассмотрены физические основы магнетронного распыления и разновидности магнетронных систем для нанесения тонких пленок и покрытий различного назначения, в том числе системы с усиленной ионизацией газовой среды и импульсные магнетронные распылительные системы. Для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов высших технических заведений, специализирующихся в области электронных физико-технических устройств и ионно-плазменных...

Хороших В.М. Стационарная вакуумная дуга в технологических системах для обработки поверхности

Статья
  • формат pdf
  • размер 446.7 КБ
  • добавлен 02 мая 2011 г.
Статья. Опубликована в ФIП ФИП РSE. 2003 т.1 с.19- 24. Библ. - 73наим. В работе выполнен обзор по применению плазмы стационарного вакуумно-дугового разряда с интегрально холодным катодом для получения покрытий различного назначения. Исследовано изменение параметров плазмы при взаимодействии ее с газовой мишенью в объеме вакуумной камеры.