Томск, ТУСУР, 2004 г. , 260 стр. В монографии рассмотрены
технологические основы производства интегральных микросхем (ИМС), в
том числе сверхбольших ИМС, отражены вопросы формирования
наноструктур и технологии их формирования. Большинство разделов
учебного плособия содержит математические модели для инженерных
расчётов.
Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника» при изучении курсов «Процессы микро- и нанотехнологии» и «Математическое моделирование технологических процессов в микроэлектронике».
Пособие будет полезно для студентов смежных специальностей при изучении курсов «Технологические процессы микроэлектроники», «Нанотехнологии в электронике», а также при выполнении курсовых и дипломных работ.
Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника» при изучении курсов «Процессы микро- и нанотехнологии» и «Математическое моделирование технологических процессов в микроэлектронике».
Пособие будет полезно для студентов смежных специальностей при изучении курсов «Технологические процессы микроэлектроники», «Нанотехнологии в электронике», а также при выполнении курсовых и дипломных работ.