Зыков Д.Д. Системы автоматизированного моделирования и проектирования технологических процессов и технологических маршрутов производства СВЧ МИС, оптимизация производства (основы САПР Synopsys TCAD)

Учебное пособие. - Томск, ТУСУР, 2010. - 76 с. Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона и дискретных полупроводниковых приборов. Предисловие.
Приборно-технологическое моделирование (TCAD).
Описание Synopsys TCAD.
Виртуальное производство с использованием Synopsys TCAD.
Возможности Synopsys TCAD для физического моделирования полупроводниковых светодиодов.
Работа с модулями Synopsys TCAD.
Примеры использования Synopsys TCAD.
Список литературы.