Ворзобова Н.Д., Денисюк И.Ю. Оптические методы формирования микроэлементов информационных систем

формат pdf
размер 4.03 МБ
добавлен 24 июня 2010 г.

СПб., СПбИТМО, 2008 г. 100 стр. В учебном пособии рассмотрены процессы формирования микроструктурных элементов фотоники и информационных систем (MEMS и MEOMS), в том числе фотонных кристаллов, основанные на оптических методах: оптической литографии, голографии и фотоотверждения полимеров. Приведены основы современных технологий получения элементов и структур микронных, субмикронных и наноразмеров.
Пособие предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлению «Микросистемная техника» и «Фотоника и оптоинформатика», а также студентов других оптических и информационных специальностей

Смотрите также

Белкин В.С., Шульженко Г.И. Формирователь мощных наносекундных и пикосекундных импульсов на полупроводниковой элементной базе

формат pdf
размер 495.88 КБ
добавлен 05 августа 2011 г.

Содержание: Назначение и принципы формирования импульсов с нано- и пикосекундным фронтами. Схемотехника формирователей с применением Ддрв,Дзлп и насыщающихся индуктивностей. Исследование промышленных диодов в качестве Ддрв иДзлп. Приёмы для повышения качественных параметров импульсов. Широкополосные делители тока и напряжения как измерительные элементы формирователей. Примеры конкретных схем формирователей. Заключение. Институт ядерной физики Со...

Вульвет Дж. Датчики в цифровых системах

формат pdf
размер 9.38 МБ
добавлен 17 апреля 2011 г.

М.: Энергоиздат, 1981— 200 с. В книге, написанной английским специалистом — руководителем школы механики и аэронавтики Политехнического института в Кингстоне, обобщены вопросы применения датчиков физических величин в современных цифровых системах контроля и управления. Описаны наиболее распространенные типы структур цифровых систем и применяющиеся в них датчики. Наиболее полно рассмотрены кодирующие преобразователи угла, сельсинные устройства, ча...

Джексон Р.Г. Новейшие датчики

формат djvu
размер 6.99 МБ
добавлен 30 марта 2009 г.

В учебнике-монографии изложены многие недавно сформировавшиеся или обновившиеся направления сенсорики, включая измерительную микромеханику, датчики на ПАВах, оптические, ионизационные и магнитные, химические микросенсоры, оптико-волоконные и интеллектуальные измерительные системы, расходометрию для нестационарных потоков и ряд других. Москва: Техносфера, 2007. - 384 с.

Котюк А.Ф. Датчики в современных измерениях

формат djvu
размер 931.29 КБ
добавлен 26 января 2009 г.

Справочное издание. Телеком, 2006 В популярной форме описаны основные типы датчиков, применяемых в различных измерительных системах: контактные, оптико-электрические, оптические, волоконно-оптические. Даны метрологические характеристики измерительных преобразователей и их типовые структурные схемы.

Круглик И.В., Левицкий А.А., Левицкая З.В. Компоненты Микросистемной Техники

формат pdf
размер 10.37 МБ
добавлен 15 мая 2010 г.

Красноярск, Сибирский Федеральный Университет,2007 г. (210 стр. ). 1. Сенсоры и микроактюаторы. Лекция 1 Введение. Лекция 2 Сенсоры. Лекция 3 Сенсоры (продолжение). Лекция 4 Сенсоры (окончание). Лекция 5 Актюаторы. Лекция 6 Актюаторы (продолжение). Лекция 7 Актюаторы (окончание). 2. Микромеханизмы и миниатюрные управляемые электронные и оптические компоненты. Лекция 8 Управляемые микроэлектрорадиокомпоненты. Лекция 9 Управляемые оптоэлектромехани...

Лекции - Технология микроэлектронной промышленности

Статья

формат doc
размер 1.59 МБ
добавлен 15 апреля 2011 г.

Подготовка подложек. Эпитаксия. Осаждение окисных плёнок. Окисление. Диффузия. Ионная имплантация. Литография. Травление. Металлизация. Технологии изготовления СБИС. Методы сборки и герметизации. Методы контроля и диагностики

Овечкин Ю.А. Микроэлектроника

формат djvu, txt
размер 7.44 МБ
добавлен 16 января 2012 г.

- М.: Радио и связь, 1982. - 288 с., ил. Рассматриваются характеристики и параметры различных классов цифровых и аналоговых интегральных микросхем; излагаются методы изготовления полупроводниковых и гибридных интегральных микросхем; даются методы сборки и их конструкции. Обсуждаются вопросы надежности и особенности испытаний ИС. Приводятся сведения по перспективным направлениям микроэлектроники: БИС, микропроцессорам, функциональной электронике....

Цапенко М.П. Датчики. Перспективные направления развития

формат djvu
размер 2.86 МБ
добавлен 26 января 2009 г.

Изд-во НГТУ, 2001. — 176 с. В пособии приведены классификация и алгоритмы восприятия физических величин и формирования измерительных сигналов в датчиках. Раскрыты понятия многомерных, многофункциональных и многоступенчатых датчиков. Даны сведения о биологических датчиках. Рассмотрены основы и возможности микроэлектронной технологии изготовления датчиков. Книга предназначена для студентов, изучающих измерительную, информационную технику, автоматик...

Шарапов В. Пьезоэлектрические датчики

формат djvu
размер 12.86 МБ
добавлен 12 июня 2009 г.

Москва: Техносфера, 2006. – 632 с. В книге приведены конструкции и методы расчета пьезокерамических преобразователей для измерения различных физических величин. Книга предназначена для научных работников, студентов, специалистов в области разработки приборов, элементов и устройств вычислительной техники и систем управления.

Mohamed Gad-el-Hak. The MEMS Handbook

формат pdf
размер 66.28 МБ
добавлен 25 марта 2010 г.

CRC Press, 2002, 1332 p. Справочник по MEMS. Язык - английский. Микроэлектромеханические системы (МЭМС) относятся к приборам с типичными характеристичными размерами от 1 мкм до 1 мм, в которых скомбинированы электрические и механические компоненты, и которые изготовлены методами групповых обработок, наподобие присущих производству интегральных схем. Существующие технологии производства для МЭМС включают поверхностную кремниевую микрообработку, ми...