6. ФОТОДИОИДЫ [1, 5, 20, 21]
6.1. Лавинный и pin-фотодиоды
В быстродействующих фотоприемниках с полосой частот до нескольких
гигагерц применяются фотодиоды (ФД) с pin-структурой и лавинные фотодиоды
(ЛФД).
ФД с pin-структурой состоит из n
+
-подложки, слаболегированного слоя (i-
слоя) и тонкого Р+-СЛОЯ толщиной до 0,3 мкм. При приложении обратного сме-
щения обедненный слой распространяется на весь i-слой собственной
проводимости. В результате уменьшается емкость перехода, расширяется
область поглощения света и повышается чувствительность ФД. Падающий свет,
затухая по экспоненциальному закону в зависимости от значения коэффициента
поглощения α, вызывает появление фотовозбужденных носителей заряда.
Фотовозбужденные носители, появившиеся в обедненном слое, ускоряются
электрическим полем обедненного слоя (≥10
3
В/см) до скорости насыщения
дрейфа (~10
7
см/с). Эту область называют областью дрейфа. Так как фотовозбуж-
денные носители за пределами обедненного слоя в р+- и n+-слоях движутся за счет
диффузии, то их скорость движения, равная ≈10
4
см/с, оказываетя на три порядка
ниже скорости дрейфа. Этот диффузионный ток является причиной ухудшения
быстродействия ФД, которое проявляется в виде «хвоста» импульсной
характеристики. Поскольку эти фотовозбужденные носители перемещаются на
расстояние порядка диффузионной длины и рекомбинируют, то тем самым
уменьшается квантовый выход. Чтобы одновременно удовлетворить требованиям
быстродействия и высокого квантового выхода, необходимо, чтобы область
поглощения света находилась в обедненном слое. Для этого при проектировании
фотодиода делают р+-слой как можно тоньше, а толщину i-слоя выбирают большей
длины поглощения света (величина 1/α). При этом, как показано на рис. 6.1, длина
поглощения для кремния на длине волны 0,8 мкм составляет 10—20 мкм, а
величина рабочего напряжения, необходимая для получения достаточно
широкого обедненного слоя, оказывается сравнительно низкой — порядка 10—20
В.
В ЛФД обедненный слой, возникающий при приложении обратного
напряжения, также необходимо рассматривать как область поглощения света;
однако для создания ударной ионизации с помощью фотовозбужденных носителей
рядом с рn-переходом создают область с высоким значением напряженности
электрического поля (более 10
5
В/см), которую рассматривают как область
лавинного умножения. Если фотовозбужденные носители, возникшие в результате
поглощения света в области дрейфа, инжектировать в область лавинного
умножения, то под действием непрерывной ударной ионизации возникнет лавинное