3.4. Лазеры с селекцией поперечных мод и с полосковой геометрией
Полупроводниковый лазер, в котором область генерации (активная
область) выполнена в виде полоски, называется полосковым лазером. Такая
конструкция обеспечивает уменьшение рабочего тока и осуществление
селекции поперечной моды в направлении, параллельном рn-переходу.
Как и в контактном полосковом лазере, состав лазерного кристалла
однороден
в горизонтальном поперечном направлении, а свет
распространяется в соответствии с распределением усиления. Такая
конструкция носит название полоскового лазера с управляемым усилением.
Рис. 3.8 Полосковые лазеры с управляемым усилением с полоской,
изготовленной инжекцией протонов (а), и с Планерной полоской (б): 1 —
область-инжекции протонов; 2 — электрод; 3—активный слой; 4—подложка; 5
— р+ -область диффузии Zn.
Существуют две конструкции полосковых лазеров с управляемым
усилением: лазеры, полоска которых изготовлена методом протонной бом-
бардировки, и лазеры с планарной полосковой структурой, приведенные
на
рис. 3.8.
В лазерах первой конструкции ограничение тока достигается путем
протонного облучения всех частей, кроме полоски, которые становятся
полуизолирующими. Планарная полосковая структура формируется таким
образом, что верхний слой ее представляет собой слой n-типа и только часть
полоски путем селективной диффузии цинка преобразуется в р-тип. При
приложении напряжения в прямом
направлении между верхним слоем n-типа и
покрытием p-типа возникает обратное смещение, благодаря чему ток будет
протекать только в области диффузии цинка.
Зависимость между током и оптическим выходом лазера с управляемым
усилением и шириной полоски 10—20 мкм нелинейна – видны изломы в
характеристике. В окрестности этих точек излома возникают различные
нестабильные явления, которые являются
большой помехой при практическом
использовании лазеров. До 1976 г. причины этих явлений были недостаточно
выяснены. Нелинейность характеристики проявляется главным образом в виде:
1) изменения направления оптического выхода в зависимости от значения тока,
2) резкого увеличения шумов, 3) ухудшения модуляционной характеристики и
возникновения релаксационных колебаний в виде всплесков. В результате
проведенных исследований было установлено,
что источником этих
неприятностей является нестабильность поперечных мод. Введение
распределения коэффициента преломления в горизонтальном поперечном
направлении и стабилизация поперечных мод позволили получить линейную
характеристику L—I и достигнуть устойчивой лазерной генерации. Можно