Плешивцев Н.В. Физические проблемы катодного распыления
Подождите немного. Документ загружается.
ЛИТЕРАТУРА
1.
Grove W.R. On the ElectroChemist*y Polarity of
Gases. Philosophical Transactions q/ the Royal
Society of London. P. 1. 1852, p.
87101.
2.
Crooks W. On Electrical Evaporation. Proc. Roy^l
Soc.
London, 1891, v. 50, N 302, p. 88.
3.
Stewart von W. Zur Theor.ie der Zerstaubung durch
Atomstrahien.. Ahnalen Physik und. Chemie, 1898,
Bd 66, S. 88.
4.
Kohlschutter von V. uber Katodenzerstaubung.
Zeitschrift fur Electrochemie und angewandle physika
. lische Chemie, 1909, Bd 15, N 23. S. 930.
5.
Моргулис Н.Д. Катодное распыление. Обэор, УФН, 1946, т. 28,
вып. 23, с.' 202224.
6. Wehner G,K. Sputtering by ion hombardment.
Advances in Electronics and Electron Physics, 1955,
v, 7,
p.
239.
7.
Плешнвцев Н.В. Катодное распыление. М., Атомиздат, 1968.
8. Symposium Ionenzer.^tauhung vom 25 bis 27 Septem
ber 1973 in KarlMarxStadt.
9. Лэигоров А.И., Семенов А.П. Обработка газовых подшипников
с применением ионного распыления. М., "Наука", 1976.
10.
Mac Donald R.J. Ejection of Atomic Particles fron ion
Bombarded Solids. Advances in Physics, 1970,
v. 19', N 80, p. 457.
11.
Radiation Effects on Solids Surfaces. Ed.M.Kaminsky,
Advances in
1
Chemistry. Series 158, American Chemi
cal Society, Washington, D.C. 1976.
12.
Гершунския Б.С, Романовская А.В.; Ващенко Н.М., Власенко В.В.
Справочник по основам электронной технике.. Киев, Изд. Киевск.
унта, IS72.
13.
Габович М.Д. Фнаика и техника плазменных источников ионов.
М., Атомиздат, 1972. .
14.
Рик Г.Р.. Массспектросхопиа. М., ГИТТЛ,. 1953.
15
Материалы 1й Всесоюзной конференции по массспектрометрин.
Л.,
Ротапринт ЛИЯФ, 1972.
80
16.
Цвертко А.И., .Наааренко O.K., Свитский A.M., Некрасов А.И.
Оборудование для зпектроннопучевой сварки. Киев, "Наукова
Думка', 1973.
17.
Головин И.Н. "Атомная энергия", 1975, т. 39, вып.6, с. 379.
18.
НОВОСТИ
терл«зядерных исследований в СССР, 1977, № I, с. 3,
19.
То
же,
1976,
>й
2,
с.
4.
20.
Logan B.G. е.а,- Phys.Rev.LetU,
1976,
V.37.N 22,р.14б8.
21.
Новости термоядерных исследований в СССР, 1977, Ко 4, с. 14.
22.
Stacey W.M. е.а. Nucl. Techn., 1976, v.30,
p.261,
23.
Davis J.W., KulcinsJu G.L. EPRI
4721,
Interim.
Report, February
1976.
24.
Artsimovich L.A. Tokamak Devices. Rev, Paper.
Nucl. Fusion, 1972, v« 12, p. 215252.
25.
Мирнов C.B. АТэР, 1977, Jv? 11, с 11.
26.
Berisch R. FirstWall Erosion in Fusion Reactors.
Rev. Paper. Nucl. Fusion, 1972, v.12, N 6, p. 695.
27.
Kulcinski G.L., Emmert G.A., Conn R.W. J. Nucl.
Mater., 1974, v. 53, p. 31; Nucl. Fusion, 1975, v. 15,
p.
327.
28.
Гладкорский И.П. ЖТФ, 1971, т. 41, вып. 3, с. 515.
28а. Петров М.П. Автореф. дисс. на соиск. учен, стипени докт. фиэ.
мат. наук. М., 1977 (ИАЭ им. И.В.Курчатова).
29.
Гусев В.М. н др. Препринт ИАЭ2545. М., 1975.
29а. Гервидс В.И., Коган В.И. Письма в ЖЭТФ, 1Э75, т.21, >й6,с.329.
30.
Duchs D. е.а. J. Nucl. Mater., 1974, v.53, p. 102.
31.
Vernickel H. Nucl.. Fusion, 1972, v.12, p. 386.
32.
Scherzer B,M.V. IPPRepori 9/9, 1972; J. Vac. Sci.
Technol., 1976, v. 13, N. 1, p. 420.
33.
Behrisch R., Kadomtsev B.E. Proc. IAEA
Conf.
Plasma Physics and ControUed Nucl. Fusion Research,
1974,
p. 229. Vienna.
34.
Schorzer B.M.V., Behrisch R., Roth J. Proc. of the
Intern. Symposium on Plasma Wail Interaction. Perga
mon Press, OxL N.Y., 1977, p. 353.
SI
35.
Behrisch R., Scherzer B.M.V. Presented at the 7ih
Intern. Con£. on Atomic Collisions in Solids,
M., Издво А^ГУ, 1877.
36.
Мартыненко Ю.В. Препринт ИАЗ2815, М., 1977.
37,
Vernickel Н., Scherzer B.M.V*, Bohdansky J., Behrisch R.
Proc.
of the Intern. Symposium on Plasma Walt Inter
action. Pergamon Pre'ss, Oxf.. N. Y., 197?, p. 209.
38*
СйКсагднский Г.Л., Пустовойт КХМ. Взаимодействие быстрых ча
стиц со стенками в термоядерных установках (вакуумно^техноло
гкческие аспекты). Обэар. М., 1976, ИАЭ
2653.
38а. Staib P., Staudenmaier G. J. Nucl. Mater., 1978»
v. 7677, p. 78.
39..
Vook P.L. e,a. Rev.. Modern Phys.', 1975, v. 47,
N 3, SuppU S. 1 S, 44.
40.
Berkner e.a. Proc 2nd Int, Symp. on Ion Sources
and formation of Ion Beams. LBL, Berkeley, 1974,
LBL3399, Paper Vl12.
41.
Morgan O.B. Ibid., Paper VI1.
42.
Thompson E. Ibid*, Paper VI2.
43.
Semashko N.N. e.a, Proc. 2nd Int. Symp. on Ion
Sources /and formation of Ion Beams. LBL, Berkeley,
1974,
LBL3399, Suppl. Paper
VI11.
44.
Don Steiner. Nucl. Sci. Eng., 1975, v. 5S, N 2,
p.
107.
45.
Science Citation Index. FiveYear Cumulation, 19o5~
1969.
Permutern subject Index. ISI. Sputter, Sputtered,
Sputtering.
46.
Gr^nlund p., Moore wj, J«.Chem. Phys,, I960,
v. 32, p. 1640; 1959, V. 31, p. 1132.
47.
Гусев B.M. и др. "Иав, АН СССР. Сер. физич.*, 1960,т,24
1
с.689
48.
Yonts О.С, е.а. J. Арр. Phys., 1960,
v..31,
p. 447.
49.
Гусева М.И. 'Радиотехника и электроника*, 1962, т. 7, с. 1680.
50.
Bay H.L., Roth J., Bohdansky J. J. Appl. Phys,,
1977,
v. 4в, N 11, p. 4722.
50a. Bohdansky J., Bay H.L., Ottenberger W. J. Nucl.
Mater.. 1978, v. 7677, p. 163.
82
506.
Бушаров Н.П. и др. Препринт ИАЭ2756. М., 1976.
50з,
Бергамбеков Л.Б, и др. В сб. "Доклады Всесоюзной конферен
ции по инженерным проблемам термоядерных реакторов". Т. 3.
НИИ электрофизической аппаратуры. Л., 1977, с. 296.
50r.IVceB В.М., Гусева М,И. В сб.: Взаимодействие атомных ча
стиц с твердым телом. Ч. 1. Минский радиотехнический институт.
Ротапринт, 1978, с. 3.
50Д. Smith D.L. Argonne National Lab., ANL/FFP772,
1977,
p. 19.
50e.
Bohdansky J., Bay H.L., Roth J. Proc, of the
Seventh International Vacuum Congress and the
Third International Conference on Solid Surfaces of
the International Union for Vacuum Science, Technique
and Applications. Vienna, Austria, 1977, p. 1509.
50».
Behrisch R., Maderlechner G„ Scherzer B.M.V.
Simposium on Atomic and Surface Physics. Institute
fur Atomphysik, Insbruck, Tirol, 1978, p. 33.
50з.
Mohri M. e.a. J. Nucl. Mater., 1978, v. 75, p.309.
51.
Finfgeld C.R. Final Report ORO355715, 1975.
Raonoke College, Salem, Virginia.
52.
Гамильтон Т.У., Семашко Н.Н. Ограничения удельной мощности
ионного источника, связанные с нагревом и катодным распыле
нием электродов. Препринт ИАЗ2628. М., 1976.
53.
Sigmund Р. Phys. Rev., 1969, v. 184, N 2, p. 383.
54.
Weismann R.
(
Sigmund P. Rad, Eff., 1973, v.l9,p,7.
55.
Гусем М.И., Мартыненко Ю.В. "Физика плазмы', 1976, г, 2
вып. 4, с. 593. '
56.
Булгаков Ю.В. ЖТФ, 1963, т. 33, с. 500;
*Иэв.
АН СССР. Сер. фнзич.*, 1964, т. 28, с. 1474.
57.
Pease R.S. Rendiconti della Scuola Internazionala
di Fisica "Enrico Fermi". Corso XIII. Societa
Etaiiana di Fisica, Bolonga, I960, p. 158,
58.
Goldman D.T., Simon A, Phys. Rev., 1958, v. Ill,
p.
383.
83
59.
Рыжов
Ю.А.,
Шкарбан
И.И.
Тепло
и
массообмен между потоками
газов
и
таердой поверхностью. Тематич.
сб.
трудов
МАИ
им. Серго
Орджоникидзе.
Вып. 3.34. M.
t
1975, с. 23;
Сборник докл. Второго
всесоюзного симпозиума 'Взаимодействие атомных частиц
с
твер
дым телом*.
М,, 1972,
ОНТИ
ИАЭ.
60.
Капауа
К. е.а,
Japanese
J.
Appl. Phys.,
1973,
v.
12, N 9, p. 1297.
61.
Laegreid
N.,
Wehner
G.K. J.
Appl. Phys.,
1961,
v. 32, p. 36S.
62.
Almen
O.B.,
Bruce
G.
Nucl, Instr. Methods,
1961,
v.
11, p. 257.
63.
Oechsner
H. 2.
physik,1973,
v. 261, p. 37.
64.
Шустров
B.A. и др. _ 'Изв. АН
УзССР.
Сер.
физич.*
1963
№
2, с. 65) ДАН
СССР,
1964, т. 155, с. 306.
65.
Лебодев
С.Я. н др. ЖТФ, 1964, т. 34, с. 1101.
66.
Nelson
R.C.
Phil.
Mag., 1965, v. 11, p. 991.
67.
Thomson
M.W. e.a.
— Properties
of
Reactor Materials
and
the
Effects
of
Radiation Damage. Proc.
of the
Intern.
Conf.
Berkeley,
1962,
Castle, England,
1661,
Lond. Butterwords,
1962.
68.
Windawi
H.M.
Surface Science,
1976, v. 55,
p.573.
69.
Rosenberg
D.,
Wehner
G.K. J.
Appi. Phys.,
1962,
v.
33, p. 1842.
70.
Мартыненко
Т.П. ЖТФ, 1968, т. 38, вып. 4, о. 759.
71.
Edwin
R.P. J.
Phys.
D:
Appl. Phys.,
1973, v. b,
N
7, p. 833.
72.
Мартыненко
Т.П. ФТТ, 1967, т. 9, вып. 10, с.
2839.
73.
Dahlgren
S.D.,
MacClanahan
E.D. J.
Appl. Phys.,
1972,
v. 43, N 4, p. 1514.
74.
Haff
P.K.,
Switkowski
Z.E.
Appl. Phys. Lett.,
1971,
v.
29, N 9, p. 549.
75.
Yonts
O.C.
Proc. Nucl. Fusion Reactor.
Conf.
Cuiham,
1969,
p, 424.
75a. Kelly
R., Lam N.Q. Rad. Eff., 1973, v.19, N
l,p,39.
76.
Gu'ntherschulze
A. Z.
Phys.,
1926, Bd 36, S. 563.
84
77.
Бушаров Н.П. и др. 'Физика плазмы", 1976, т. 2, вып. 4,с.588.
78.
Roth J. e.a. Nucl. Mater., 1976, v. 63, p 222.
79.
Hosokawa N. e.a. J. Appl. Phys., 1974, Supply 2
(Pt. l), 435.
80.
Данилин Б.С., Киреев В.Ю. 'Электрогная промышленность*,
1975,
N? 1, о 74.
81.
Дикарев Ю.И. и др. 'Зарубежная электронная техника*, 1978,
№
2, с. 350; № 3, с. 352.
Ьс.
Coburn J.W. e.a, J. AppL Phys., 1977, v.48, N 8,
p.
3532.
83.
Лапин С.Г. БСЭ, 1976, т. 25, с. 379.
84.
Герасимович М.В. Срок службы кинескопов. М., 'Энергия*, 1972.
85.
Овчинников А*Н. Зарубежные кинескопы для чернобелого телеви
дения. Обзор за 19651969 гг. ЦНИИ 'Электроника*. Сер.
"Электроннолучевые и фотоэлектронные приборы*, 1969,вып.77{ 146),
86.
Стуколов П.М. 'Электронная промышленность*, 1975, № 1, с. 3.
СОДЕРЖАНИЕ
1.
ЗНАЧЕНИЕ ПРОЦЕССА РАСПЫЛЕНИЯ ВЕЩЕСТВ
АТОМНЫМИ ЧАСТИЦАМИ В НАУКЕ, ТЕХНИКЕ,
ТЕХНОЛОГИИ И ПРИРОДЕ 3
2.
ПРОБЛЕМЫ ТЕРМОЯДЕРНОГО РЕАКТОРА
!2
2.1.
Удержание плазмы в токамаках 12
2.2.
Основные параметры токамаков и ТЯЭС jg
2,Я. Потоки частиц на первую стенку реактора-токомака . . . ]8
2.4. Проблема примесей в токамаках 22
2.5.
Физические процессы на поверхности первой
стенки 26
2.6.
Относительная важность различных источников
загрязнения плазмы распылением 28
2.7.
Требования, предъявляемые к материалу
первой стенки THF 28
2.8.
Проблема рягпыления в инжекторах ионов
и быстрых атомов oi
3.
ЗАКОНОМЕРНОСТИ ИЗМЕНЕНИЯ ВЕЛИЧИНЫ
КОЭФФИЦИЕНТА. РАСПЬЛЕНИЯ ОТ РАЗЛИЧНЫХ
ПАРАМЕТРОВ . . J3
Я.1.
Задача обобщения накопленных данных
по распылению Г-'.j
-'3.2.
Зависимость коэффициента распыления
от энергии частиц 33
Я, Я.
Пороговая энергия распыления 57
Я.4.
Максимальные значения коэффициента
распыления 39
Л.5.
Зависимость коэффициента распыления
от угла падения иона 67
Я.6.
Зависимость коэффициента распыления
от температуры мишени 68
Я.
7. Зависимость коэффициента распыления
от шероховатости и пористости поверхности 70
3.8.
Зависимость коэффициента распыления
двухфазных и многофазных веществ
(карбидов, окислов и т.п.) 71
3.9. Химическое распыление 74
ЗАКЛЮЧЕНИЕ 78
Литература 80
ФИЗИЧЕСКИЕ ПРОБЛЕМЫ КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ
Обзор
Редактор Л. А. Кузьмина
Технический редактор Н.И.Мазаева
Корректоры Б. П. Горячева, Н. Н. Черемных
Подписано в печать 9. 10. 79 г. Т-17572
Формат 60x90/1.6. Офсет, печ. Уч.-иэд. л. 5,00
Тираж 300 вкз, Зак. тип. М 1753. Цвка 50 код.
Отпечатано в ИАЭ им. И. В. Курчатова
50
коп.
,.
ТЛядасеЗби