146 И. М. Ковенский, В. В. Поветкин Металловедение покрытий
Уникальные характеристики синхротронного излучения по¬
зволяют уменьшить вклад в рентгенограмму фонового рассеяния
от раствора и осуществить быструю регистрацию серии рентгено¬
грамм. Монохроматизация, формирование пучка синхротронного
излучения, а также регистрация дифрагированного излучения осу¬
ществляются на специально разработанном дифрактометре с ис¬
пользованием электрохимической ячейки особой конструкции.
2.7. МЕТОДЫ ЭЛЕКТРОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ
Среди эмиссионных методов анализа поверхности наиболь¬
шее распространение при исследовании гальванических покрытий
получили методы, основанные на Оже-эффекте и фотоионизации.
К ним относятся Оже-электронная спектроскопия (ОЭС) и фото¬
электронная спектроскопия, чаще называемая электронной спек¬
троскопией для химического анализа (ЭСХА). Уникальные анали¬
тические характеристики (табл. 2.12) обусловили применение ме¬
тодов к исследованию явлений, связанных с окислением, корро¬
зией (включая межкристаллитную), пассивированием металличес¬
ких поверхностей, адгезией покрытий и пр.
Таблица 2.12
Аналитические характеристики ОЭС и ЭСХА
Характеристика ОЭС
ЭСХА
Чувствительность анализа, % 10
-1
—10
-2
1-10
-2
Точность анализа, % 5—10 5—10
Возможность обнаружения элементов z > 2 z > 2
Разрешение по глубине, нм 0,3—3 0,3—3
Разрешение по поверхности (линейный размер) 0,5 нм—5 мкм 2—10 мм
Возможность получения информации о химической связи + ++
Возможность анализа без разрушения образца + ++
Метод ОЭС основан на энергетическом анализе вторичных
Оже-электронов. В процессе бомбардировки первичный электрон¬
ный пучок, обладающий высокой энергией, выбивает электрон с
одной из внутренних атомных оболочек, например с К, и перево¬
дит его на более высокий уровень. Возбужденный атом может вер¬
нуться в нормальное состояние при заполнении вакантного места
электронами из оболочек с более высокой энергией, например из
L. Такой переход сопровождается освобождением энергии, опре-
Глава 2. Методы изучения строения и свойств покрытий 147
деляемой разницей энергий двух уровней Е
K
— E
L
, которой доста¬
точно для испускания либо фотона, что имеет место при характе¬
ристическом рентгеновском излучении, либо еще одного электро¬
на из L-оболочки. Этот вторичный электрон и называется Оже-
электроном. Оже-электроны располагаются только на дискретных
уровнях и, таким образом, являются характеристическими: их энер¬
гия характерна для излучающего элемента. Следовательно, анализ
энергий Оже-электронов позволяет определить состав исследуе¬
мых образцов.
Вследствие высокой энергии первичных электронов Оже-
электроны могут возникать на значительной глубине. Однако боль¬
шинство из них теряет часть своей энергии из-за неупругих столк¬
новений раньше, чем они покидают поверхность твердого тела.
Как правило, вклад в Оже-спектр вносят только те Оже-электро¬
ны, которые находятся вблизи поверхности на расстоянии от 0,3
до 3,0 нм. Поэтому метод ОЭС чрезвычайно эффективен при изу¬
чении тонких поверхностных слоев.
Метод ЭСХА основан на анализе энергии электронов, эми¬
тируемых с внутренних оболочек под действием рентгеновского
излучения. С помощью ЭСХА достаточно легко получить инфор¬
мацию о химическом состоянии атома изучаемого элемента, по¬
скольку энергия этих электронов равна разнице между энергией
падающего фотона и энергией связи. Хотя рентгеновское излуче¬
ние обладает высокой проникающей способностью, в диапазоне
энергий, который используется в фотоэлектронных спектромет¬
рах, разрешение по глубине, определяемое длиной свободного
пробега электрона, примерно такое же, как в ОЭС.
Простейший Оже-спектрометр состоит из рабочей камеры,
в которой расположены электронная пушка, образец, энергоана¬
лизатор, и системы регистрации (рис. 2.39). В рабочей камере Оже-
спектромера создается глубокий вакуум (10
-6
—10
-8
Па), поскольку
выход Оже-электронов чувствителен к состоянию поверхности,
наличию на ней атомов и пленок адсорбированных газов. Совре¬
менные приборы оснащены приспособлениями, позволяющими
проводить очистку исследуемой поверхности непосредственно в
рабочей камере, например с помощью высокотемпературного на¬
грева или ионной бомбардировки.
Блок-схема фотоэлектронного спектрометра включает источ¬
ник электромагнитного излучения, энергоанализатор, коллектор