
100
Глава 2
Чтобы реализовать разрешение зонной пластинки требуется сте-
пень монохроматизации
±>N,. (55)
Из выражений (53) и (54) для отношения фокусного расстояния
к диаметру зонной пластинки можно получить
/* = ψ, (56)
оно зависит только от минимальной ширины зоны и длины волны.
Типичная свободновисящая зонная пластинка [97, 98], такая,
как показанная на рис. 30, имеет Ν
ζ
= 500 зон, полный диаметр
2г# = 0,63 мкм и минимальную ширину зоны, согласно (53), по-
рядка 3200А. Это, согласно (53), соответствует фокусному рассто-
янию f
.г.
= 4 см на длине волны 50А и /# = 64.
Раньше такие микроскопические зонные пластинки использо-
вались в основном для рентгеновской микроскопии высокого раз-
решения. В настоящее время они все чаще применяются в обла-
стях рентгеновской спектроскопии и рентгеновских лазеров [96,
97].
Зонные пластинки изготовляются различными методами, та-
кими, как голография, рентгеновская интерференция и литогра-
фия, испарение и электронная литография [96, 97, 99]. Структура,
изображенная на рис. 30, была нанесена последним из этих мето-
дов непосредственно на золотую фольгу. Эта фольга использова-
лась в качестве шаблона для изготовления реплики путем рентге-
новской литографии на ПММА-фоторезисте (полиметилметакри-
лат).
Полученная на резисте структура в свою очередь служила
шаблоном для получения свободновисящей золотой зонной пла-
стинки, показанной на рисунке. Этот метод применялся для из-
готовления структур с шириной зоны < ЮООА [96, 97, 100].
6.1.3. Объективы скользящего падения
Рентгеновское излучение может фокусироваться с помощью вогну-
того зеркала за счет отражения лучей при углах падения близких
к критическому. Работа по рентгеновским объективам скользяще-
го падения ведется с 1929 г. Наиболее серьезные проблемы были
связаны с шероховатостью поверхностей и с устранением астиг-
матизма от каждой отражающей поверхности. Серия прекрасных
статей по этой тематике имеется в трудах конференций 1980 г.
[101].