51
где R – сопротивление нити, Q
т
, Q
и
, Q
н
– соответственно: теплота, отво-
димая от нити за счет теплопроводности газа, теплота излучения нити и
теплота нагрева держателей нити. Последние два вида тепловых потерь
не зависят от давления и определяют нижний предел измерения, ког-
да q
Т
становится меньше суммы (Q
и
+ Q
н
). Обычно этот предел равен
~ (1 – 10
–2
) Па. Верхний предел обусловлен тем, что при больших давле-
ниях в вязкостном режиме теплопроводность газа перестает зависеть от
давления. Зависимость теплопроводности от давления имеет место только
в молекулярном и молекулярно-вязкостном режимах, когда λ превыша-
ет радиус нагретой нити. В режиме постоянной температуры верхний
предел может быть доведен до ~ 10
4
Па. Различают термопарные ваку-
умметры, где температура нити измеряется присоединенной к ней тер-
мопарой, и вакуумметры сопротивления, в которых температура нити
определяется по ее омическому сопротивлению.
Действие вязкостного вакуумметра основано на зависимости вязко-
сти разреженного газа от его давления, если средняя длина λ
ср
свобод-
ного пробега молекул газа больше или сравнима с размерами датчика
(манометрического преобразователя). Существуют два типа вязкостных
вакуумметров: колебательный и с вращающимся элементом. В колеба-
тельном вязкостном вакуумметре мерой давления газа являются время
затухания свободных колебаний вибратора, обычно кварцевой нити,
закрепленной с одного или двух концов или соединенной с мембраной.
В вязкостном вакуумметре с вращающимся элементом момент силы
от быстро вращающегося элемента передается через газ к подвешенно-
му на упругой подвеске чувствительному элементу. Угол закручивания
последнего и служит мерой давления. В качестве рабочих элементов
используются диски и коаксиальные (соосные) цилиндры. Диапазон
измеряемых давлений ( l – 10
–5
) Па.
В радиометрическом вакуумметре используется радиометрический
эффект, согласно которому отклонение пластин пропорционально дав-
лению газа, если расстояние d между ними меньше средней длины сво-
бодного пробега λ
ср
молекул газа. Область измерения: (1 – 10
–6
) Па. Вер-
хний предел определяется давлением, при котором λ
ср
становится срав-
нима с d; нижний предел обусловлен соотношением между радиометри-
ческой силой и силой давления на холодную пластину инфракрасного
излучения нагретой пластины.
В ионизационных вакуумметрах мерой давления является величина
ионного тока. В радиоизотопных ионизационных вакуумметрах для