142
нов, которая примерно совпадает с глубиной пор, образовываю-
щихся после разрушения блистеров.
Размеры и формы пор сразу после появления и наличие
кольцевого выступа вокруг них свидетельствуют о том, что причи-
ной их появления не могло быть распыление. В противном случае
пришлось бы предположить, что коэффициент распыления мате-
риала на дне пор более, чем в 3-4 раза превышал коэффициент рас-
пыления плоской поверхности. Даже если учесть, что поры и уг-
лубления образовались в местах с дефектной структурой, то и то-
гда превышение коэффициента распыления не могло быть столь
значительным.
Кроме того, следует отметить, что углубление, какой бы
формы оно ни было первоначально, например, цилиндрическое
(или пирамидальное), в результате распыления под действием ион-
ной бомбардировки должно принять форму опрокинутого усечен-
ного конуса (или пирамиды) с углом между образующей конуса и
нормалью к поверхности φ = π/2 — θ, где θ — угол максимального
распыления. Видно, что поры принимают форму усеченного кону-
са, но угол φ остается значительно большим.
Наконец, следует обратить внимание на кольцевые выступы,
окружающие поры, и соответствующие выступы вдоль линейных
углублений-каналов по границам зерен. Известно, что подобные
выступы под действием распыления должны разрушаться. В част-
ности, расчеты показывают, что выступ, окружающий пору, дол-
жен исчезнуть при дозе 1×10
20
ион/см
2
. Однако он существует с
практически неизменной формой даже при дозе 6,4×10
20
ион/см
2
.
Высокие температуры появления пор, их возникновение как
на облучаемой ионами поверхности, так и в отсутствие облучения,
наконец, сравнительно большие размеры, в частности глубины пор,
позволяют заключить, что их зарождение сопровождало рекри-
сталлизационные процессы в материалах. Это объясняет, почему
поры чаще появлялись вдоль границ зерен и различных дефектов
структуры. Растворенные в материале газы сорбировались на их
стенках и выделялись в объем пор, способствуя их стабилизации и
росту. При облучении поверхности ионами водорода или гелия
концентрация легко диффундирующих атомов в приповерхностном
слое многократно возрастала. Соответственно, возрастал поток