Светличный А.М., Наумченко А.С. Конспект лекций по дисциплине Лучевые и плазменные методы формирования наноструктур интегральной электроники

Московский государственный институт электронной техники (технический университет), 2011, 84 с. Содержание:
Применение фотонных потоков излучения в технологии микро- и наноэлектроники
Рекристаллизация аморфных и поликристаллических кремниевых слоѐв лазерным излучением
Технологические процессы с использованием плазмы при изготовлении изделий микро- и наноэлектроники
Плазменные технологические процессы очистки и травления микро- и наноструктур
Взаимодействие электронов с твѐрдым телом
Тепловое воздействие электронов на твѐрдое тело
Ионно-лучевая обработка в технологии микро- и наноэлектроники
Ионное легирование полупроводников