Учебное пособие. - Томск, ТУСУР, 2010. - 115 с.
Изложены описания основных современных методов исследования и
диагностического оборудования для контроля параметров
технологических процессов производства наногетероструктур и
наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Раскрыты
возможности этих методов. Показано, каким образом совместное
использование нескольких методов позволяет получить достоверную
информацию о физических свойствах исследуемых структур.
Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона и дискретных полупроводниковых приборов, а также для студентов специальностей 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и 210600 «Нанотехнология».
Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона и дискретных полупроводниковых приборов, а также для студентов специальностей 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и 210600 «Нанотехнология».