Москва, 2002г. -376с.
Содержание.
Введение.
Основные свойства и группы полупроводников.
Основы теории химической связи.
Дефекты в полупроводниковых материалах.
Фазовые равновесия и элементы теории образования фаз.
Получение чистых полупроводниковых материалов.
Выращивание объемных кристалов полупроводников.
Легирование полупроводниковых материалов.
Диффузия примесей в кристалах.
Монокристалические пленки.
Содержание.
Введение.
Основные свойства и группы полупроводников.
Основы теории химической связи.
Дефекты в полупроводниковых материалах.
Фазовые равновесия и элементы теории образования фаз.
Получение чистых полупроводниковых материалов.
Выращивание объемных кристалов полупроводников.
Легирование полупроводниковых материалов.
Диффузия примесей в кристалах.
Монокристалические пленки.