Шевчук С.Л. Метод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких пленок непосредственно из пучков ионов (диссертация)

Дисертация

формат pdf
размер 8.29 МБ
добавлен 11 августа 2011 г.

Шевчук С.Л. Метод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких пленок непосредственно из пучков ионов (диссертация)

Дис. на соиск. уч. степени канд. техн. наук., специальность 05.27.01 – «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах». – М., Физико-технологический ин-т РАН, 2002. – 159 с.
Настоящая диссертация посвящена проблеме развития метода реактивного ионно-лучевого синтеза (РИЛС) тонких пленок непосредственно из широких низкоэнергетичных пучков ионов высокой интенсивности, формируемых ионным источником с замкнутым дрейфом электронов.

Похожие разделы

Смотрите также

Булгаков А.В. и др. Синтез наноразмерных материалов при воздействии мощных потоков энергии на вещество

формат pdf
размер 11.85 МБ
добавлен 20 января 2011 г.

Новосибирск, Институт теплофизики СО РАН, 2009 г. , 462 с. В монографии коллектива авторов рассмотрены вопросы синтеза наночастиц и тонких пленок методом лазерной абляции и электровзрыва. Хорошая книга, где рассмотрены, как теоретические вопросы, связанные с взаимодействием мощных потоков энергии с веществом, так и практические примеры для конкретных материалов и методов. Будет полезна студентам старших курсов, инженерам и научным сотрудникам.

Булгаков А.В., Булгакова Н.М., Бураков И.М. и др. Синтез наноразмерных материалов при воздействии мощных потоков энергии на вещество

формат djvu
размер 17.09 МБ
добавлен 15 сентября 2011 г.

Новосибирск, Институт теплофизики СО РАН, 2009 г. , 462 с. В монографии коллектива авторов рассмотрены вопросы синтеза наночастиц и тонких пленок методом лазерной абляции и электровзрыва. Рассмотрены как теоретические вопросы, связанные с взаимодействием мощных потоков энергии с веществом, так и практические примеры для конкретных материалов и методов. Будет полезна студентам старших курсов, инженерам и научным сотрудникам.

Герасименко Ю.В., Логачёва В.А., Ховив А.М. Синтез и свойства тонких пленок диоксида титана

Статья

формат pdf
размер 1.28 МБ
добавлен 07 ноября 2011 г.

Статья. Опубликована в журнале Конденсированные среды и межфазные границы, том 12, № 2, 2010, с.113-118 Методами рентгенофазового анализа (РФА) и абсорбционной спектроскопии исследован фазовый состав и оптические свойства пленок диоксида титана толщиной 150—200 нм, полученных магнетронным распылением с последующей термообработкой при T = 723 К и Т = 1023 К в потоке кислорода, и пленок, сформированных в процессе вакуумного реактивного высокочасто...

Дубровский В.Г. Теоретические основы технологии полупроводниковых наноструктур

формат pdf
размер 10.76 МБ
добавлен 03 апреля 2010 г.

СПб. , 2006 г. (350 стр. ). В книге подробно рассмотрены такие актуальные вопросы как технологии тонких пленок и наногетероструктур; основы теории формирования новой фазы на поверхности твердого тела; термодинамика и кинетика монослойной пленки; зарождение и рост островков на поверхности твердого тела; формирование сплошной пленки; одномерные и нульмерные квантовые наноструктуры (рост квантовых точек и нановискеров); кинетика роста тонких пленок;...

Жигалина О.М. Электронная микроскопия функционально активных наноразмерных материалов для микро- и наноэлектроники - Автореферат

Дисертация

формат pdf
размер 3.9 МБ
добавлен 12 декабря 2010 г.

Специальность 01.04.07 — физика конденсированного состояния Автореферат диссертации дфмн – М. : 2010. – 47 с. Электронная микроскопия является мощным и практически единственным методом, позволяющим напрямую визуализировать, контролировать и целенаправленно изменять структуру тонких сегнетоэлектрических пленок и слоев металлизационных систем при формировании многослойных композиций, осуществляя тем самым последовательное продвижение вперед в созда...

Кузнецов Г.Д., Курочка С.П., Кушхов А.Р., Демченкова Д.Н., Курочка А.С. Процессы микро - и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы

Практикум

формат djvu
размер 3.79 МБ
добавлен 20 июня 2011 г.

Лабораторный практикум. - Москва, МИСиС, 2007. - 141 с. Лабораторный практикум выполняется по курсам «Основы высоких технологий», «Процессы микро- и нанотехнологии» и «Микротехнология слоистых материалов и покрытий». В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных...

Кузнецов Г.Д., Симакин С.Б., Демченкова Д.Н. Микро - и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций

формат djvu
размер 5.58 МБ
добавлен 18 июня 2011 г.

Курс лекций. - Москва, МИСиС, 2008. - 191 с. В курсе лекций рассматриваются принципы построения, организации и функционирования наноразмерных гетерокомпозиций, физико-химические основы метода Ленгмюра - Блоджетт, ионно-плазменного получения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, проблемы деградации параметров пленочных структур. Анализируются эффекты размерного квантования в полупроводниковых наноструктурах, закономерности ионно-плазменн...

Пахомов Л.Г., Леонов Е.С. Пленочные структуры на основе органических полупроводников

формат pdf
размер 645.79 КБ
добавлен 05 августа 2011 г.

Нижний Новгород, 2007. - 79 с. В пособии подробно изложены методы получения тонких (наноразмерных) пленок производных фталоцианина, например его металлокомплексов, влияние на их структуру материала подложки, скорости осаждения, режимов последующего отжига. Большое внимание уделено вопросам фазового (примесного) легирования пленок органических полупроводников.

Романов Э.А. Нанокристаллические пленки сульфида и селенида цинка для тонкопленочных электролюминесцентных источников

Дисертация

формат pdf
размер 14.18 МБ
добавлен 22 августа 2011 г.

Диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. - Ижевск, УдГУ, 2011. - 151 с. Специальность 01.04.01 - "Приборы и методы экспериментальной физики" 01.04.07. - "Физика конденсированного состояния" Введение 1 Нанокристаллические пленки А2В6: синтез, структура, свойства Структура и особенности полупроводников А2В6 Структура и свойства сульфида и селенида цинка Влияние структуры на оптические свойства сульфида и селен...

Сысоев Э.П. Нанокерамические материалы. Часть 1. Пленки, покрытия, мембраны

формат pdf
размер 23.14 МБ
добавлен 23 мая 2011 г.

Учебное пособие. – Владимир, ВлГУ, 2008. – 90 с. Данное пособие – составная часть теоретического курса «Нанокерамика» и логическое продолжение выпущенных в 2005 – 2007 гг. учебных пособий «Нанокерамика» (Ч. 1 – 3). В нем представлен обзор получения и исследования в мировой практике и России свойств пленок, покрытий и мембран наноразмерной величины из различных оксидов. Подготовлено для студентов специальности 240304 – химическая технология туго...