Практикум
  • формат pdf
  • размер 1,32 МБ
  • добавлен 22 октября 2015 г.
Шелохвостов В.П. Микро - и наноэлектроника
Лабораторный практикум. — Тамбов: ТГТУ, 2013. — 60 с.
Микроанализ структур интегральных устройств
Синтез наноразмерных углеродных трубок для наноэлектроники
Молекулярно-лучевая эпитаксия: методики, оборудование, технология
Электронная микроскопия гетероструктур
Микролитография
Анализ топологии БИС методом оптической микроскопии
Диффузия в технологии микросхем