Учебное пособие по дисциплине «Зондовые методы создания структур
наноэлектроники». — М.: МИЭТ, 2011. — 164 с. — ISBN
978-5-7256-0650-8
Представлены физические основы зондовой нанотехнологии на базе
сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов.
Разработано для основной образовательной программы подготовки бакалавров по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника», соответствующей тематическому направлению деятельности ННС «Наноэлектроника».
Для студентов технических университетов, проходящих подготовку по специальности 073800 «Наноматериалы», 658300 «Нанотехнология» и 202000 «Нанотехнология в электронике», изучающих курс «Зондовые методы создания структур наноэлектроники» на уровне бакалавров. Содержание Введение
Литература
Зондовая микроскопия и ее возможные применения
Сканирующие зондовые микроскопы
Зондовая микроскопия углеродных нанотрубок
Атомная структура поверхности углеродных нанотрубок
Исследование углеродных нанотрубок: размеры, формы, тонкая структура
Перспективы зондовой нанотехнологии
Литература
Теоретическое и экспериментальное исследование процессов формирования наноразмерных структур с помощью проводящего зонда
Физические эффекты в зондовой нанотехнологии
Контактное формирование нанорельефа поверхности подложек
Бесконтактное формирование нанорельефа поверхности подложек
Локальная «глубинная» модификация поверхности полупроводниковых подложек
Локальная электродинамическая модификация поверхности подложек
Межэлектродный массоперенос с нанометровым разрешением
Модификация свойств среды в зазоре между проводящим зондом и подложкой
Электрохимический массоперенос
Массоперенос с помощью газовой среды
Локальное анодное окисление
Литература
Зондовые нанотехнологии создания элементной базы наноэлектроники
Зондовое формирование полимерных микропроводников
Методы формирования металлических квазиодномерных микропроводников на подложках
Создание элементов металлической наноэлектроники
Нанотранзисторы и инверторы на основе углеродных нанотрубок
Метод приготовления проводников на основе пучка углеродных нанотрубок
Зондовые методы модификации углеродных нанотрубок на подложках
Исследование характеристик макетов нанотранзистора и инверторов на основе углеродных нанотрубок
Углеродная наноэлектроника
Локальное анодное окисление пиролитического графита
Литература
Заключение
Разработано для основной образовательной программы подготовки бакалавров по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника», соответствующей тематическому направлению деятельности ННС «Наноэлектроника».
Для студентов технических университетов, проходящих подготовку по специальности 073800 «Наноматериалы», 658300 «Нанотехнология» и 202000 «Нанотехнология в электронике», изучающих курс «Зондовые методы создания структур наноэлектроники» на уровне бакалавров. Содержание Введение
Литература
Зондовая микроскопия и ее возможные применения
Сканирующие зондовые микроскопы
Зондовая микроскопия углеродных нанотрубок
Атомная структура поверхности углеродных нанотрубок
Исследование углеродных нанотрубок: размеры, формы, тонкая структура
Перспективы зондовой нанотехнологии
Литература
Теоретическое и экспериментальное исследование процессов формирования наноразмерных структур с помощью проводящего зонда
Физические эффекты в зондовой нанотехнологии
Контактное формирование нанорельефа поверхности подложек
Бесконтактное формирование нанорельефа поверхности подложек
Локальная «глубинная» модификация поверхности полупроводниковых подложек
Локальная электродинамическая модификация поверхности подложек
Межэлектродный массоперенос с нанометровым разрешением
Модификация свойств среды в зазоре между проводящим зондом и подложкой
Электрохимический массоперенос
Массоперенос с помощью газовой среды
Локальное анодное окисление
Литература
Зондовые нанотехнологии создания элементной базы наноэлектроники
Зондовое формирование полимерных микропроводников
Методы формирования металлических квазиодномерных микропроводников на подложках
Создание элементов металлической наноэлектроники
Нанотранзисторы и инверторы на основе углеродных нанотрубок
Метод приготовления проводников на основе пучка углеродных нанотрубок
Зондовые методы модификации углеродных нанотрубок на подложках
Исследование характеристик макетов нанотранзистора и инверторов на основе углеродных нанотрубок
Углеродная наноэлектроника
Локальное анодное окисление пиролитического графита
Литература
Заключение