Наукоемкие технологии России и мира

НИЯУ МИФИ, М., проф. Патрикеев Л.Н., 2012 г., 113 слайдов
Кафедра 27 микро- и наноэлектроники От микро к наноэлектронике
Фотолитография
Изготовление фотошаблонов
Структуры базовых ИЭТ
Базовый технологический процесс создания ИМС на кремнии ( Si )
Резка, шлифовка и полировка кристаллов Si
Легирование методом термической диффузии примесей