Рассмотрены вопросы теории и практики надежности интегральных схем
(ИС). Обобщаются опубликованные в периодической литературе
результаты физических исследований внезапных и постепенных отказов
элементов гибридных тонкопленочных (ТП) ИС и полупроводниковых ИС,
созданных на основе кремния. Приведены способы обеспечения и
повышения надежности.
Книга может быть полезной инженерам и научным работникам, занимающимся разработкой и производством ИС, а также студентам вузов.
Книга может быть полезной инженерам и научным работникам, занимающимся разработкой и производством ИС, а также студентам вузов.