Статья. Опубликована в Изв. ВУЗов. Физика. №6, 2002. с.3-6.
Предложен метод расчета процессов упругого распыления металла в виде кластеров при ионной бомбардировке.
Предложен метод расчета процессов упругого распыления металла в виде кластеров при ионной бомбардировке.