Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата
технических наук 2010г. , 22с.
Специальность 01.04.20 – физика пучков заряженных частиц и ускорительная техника
Работа выполнена в ГОУ ВПО «Национальный исследовательский Томский политехнический университет» Научный руководитель: д. ф-м. н., проф. Рябчиков Александр Ильич
Цель работы заключается в исследовании трансформации микрочастиц вакуумно-дугового разряда на поверхности мишени в условиях избирательного энергетического воздействия на них, в разработке псевдоленточного источника пучков ионов металлов и плазменных потоков, а так же в исследовании закономерностей формирования интерметаллидных слоев типа Ti-Al, Ni-Al при имплантации ионов алюминия в условиях компенсации ионного распыления поверхности осаждением металлической плазмы.
Специальность 01.04.20 – физика пучков заряженных частиц и ускорительная техника
Работа выполнена в ГОУ ВПО «Национальный исследовательский Томский политехнический университет» Научный руководитель: д. ф-м. н., проф. Рябчиков Александр Ильич
Цель работы заключается в исследовании трансформации микрочастиц вакуумно-дугового разряда на поверхности мишени в условиях избирательного энергетического воздействия на них, в разработке псевдоленточного источника пучков ионов металлов и плазменных потоков, а так же в исследовании закономерностей формирования интерметаллидных слоев типа Ti-Al, Ni-Al при имплантации ионов алюминия в условиях компенсации ионного распыления поверхности осаждением металлической плазмы.