Методические материалы. - М.: МГУ, 2007. - 32 с.
Рассмотрены:
Классификация методов получения наноматериалов
Механохимический, детонационный синтез и электровзрыв
Нанолитография
Оптическая литография
Электронно-лучевая литография (ЭЛЛ)
Ионно-лучевая литография (ИЛЛ)
Безмасочная литография (direct writing)
Печатная нанолитография
Классификация методов получения наноматериалов
Механохимический, детонационный синтез и электровзрыв
Нанолитография
Оптическая литография
Электронно-лучевая литография (ЭЛЛ)
Ионно-лучевая литография (ИЛЛ)
Безмасочная литография (direct writing)
Печатная нанолитография