Макарчук М. В., Шелохвостов В. П. – Тамбов: Изд-во ГОУ ВПО ТГТУ,
2010. – 32 с.
Предложены лабораторные работы, в которых исследуются типы интегральных микросхем, технологии их изготовления, проводится анализ точности изготовления ИМС и видов возможного брака. В целях достижения максимальной пользы от полученных теоретических знаний и развития первых практических навыков проектирования технологии изготовления ИМС предлагается разработать технологическую карту и послойные эскизы изготовления ИМС.
Предназначены для студентов дневной и заочной формы обучения по направлению 210200 «Проектирование и технология электронных средств» и 210300 «Радиотехника».
Предложены лабораторные работы, в которых исследуются типы интегральных микросхем, технологии их изготовления, проводится анализ точности изготовления ИМС и видов возможного брака. В целях достижения максимальной пользы от полученных теоретических знаний и развития первых практических навыков проектирования технологии изготовления ИМС предлагается разработать технологическую карту и послойные эскизы изготовления ИМС.
Предназначены для студентов дневной и заочной формы обучения по направлению 210200 «Проектирование и технология электронных средств» и 210300 «Радиотехника».