Москва "Радио и связь" 1989 г. , 393 стр.
Технология производства изделий микроэлектроники: история развития, общие положения и основные определения.
Конструкции элементов полупроводниковых микросхем и микропроцессоров на биполярных транзисторах.
Конструкции элементов полупроводниковых микросхем и микропроцессоров на МДП-транзисторах.
Конструкции элементов биполярно-полевых полупроводниковых микросхем.
Конструкции элементов и компонентов пленочных гибридных микросхем и микросборок.
Исходные материалы и полуфабрикаты для производства полупроводниковых интегральных микросхем.
Технология производства полупроводниковых микросхем на биполярных транзисторах.
Технологические маршруты производства интегральных полупроводниковых микросхем и микропроцессоров на МДП-транзисторах.
Технологические маршруты производства гибридных микросхем и микросборок.
Анализ и синтез технологических процессов производства интегральных микросхем.
Методы выполнения технологических операций и используемое оборудование.
Конструкции микросхем и микропроцессоров.
Технология производства изделий микроэлектроники: история развития, общие положения и основные определения.
Конструкции элементов полупроводниковых микросхем и микропроцессоров на биполярных транзисторах.
Конструкции элементов полупроводниковых микросхем и микропроцессоров на МДП-транзисторах.
Конструкции элементов биполярно-полевых полупроводниковых микросхем.
Конструкции элементов и компонентов пленочных гибридных микросхем и микросборок.
Исходные материалы и полуфабрикаты для производства полупроводниковых интегральных микросхем.
Технология производства полупроводниковых микросхем на биполярных транзисторах.
Технологические маршруты производства интегральных полупроводниковых микросхем и микропроцессоров на МДП-транзисторах.
Технологические маршруты производства гибридных микросхем и микросборок.
Анализ и синтез технологических процессов производства интегральных микросхем.
Методы выполнения технологических операций и используемое оборудование.
Конструкции микросхем и микропроцессоров.