Статья
  • формат pdf
  • размер 249 КБ
  • добавлен 23 мая 2011 г.
Котов Д.А. Исследование вольтамперных характеристик интегрированной ионно-плазменной системы
Статья. Опубликована в Доклады БГУИР, 2003, т.1, №2, с.78-82.
Интегрированная система ионно-ассистированного магнетронного распыления была разработана для расширения возможностей управления параметрами осаждаемых пленок. Преимуществом предлагаемого способа нанесения является высокая скорость роста покрытия с заданной структурой и соответственно физико-химическими свойствами. Приведена схема устройства и результаты исследований вольтамперных характеристик магнетронной распылительной системы в зависимости от давления в вакуумной камере. Установлены особенности электромагнитной совместимости ионно-лучевой и магнетронной распылительной систем. Выявлены возможности значительного снижения пробойного потенциала магнетрона и генерации его разряда при пониженных рабочих давлениях посредством стимуляции ионным пучком. Изучено влияние различных конфигураций ионно-плазменного процесса на инициализацию и устойчивость магнетронного разряда. Отмечены особенности компенсации положительного объемного заряда ионного пучка.
Читать онлайн
Похожие разделы
Смотрите также

Аксенов И.И., Падалка В.Г., Хороших В.М. Формирование потоков Ме плазмы (обзор)

  • формат pdf
  • размер 3.15 МБ
  • добавлен 12 мая 2010 г.
М.: ЦНИИатоминформ, 1984г. - 84с. Анализируется способы и устройства для генерации металлической плазмы, основанные на использовании вакуумно-дугового разряда с расходуемым катодом. Рассматриваются работы, связанные, главным образом, с проблемами ионно-плазменной технологии обработки материалов и техники получения вакуума. Особое внимание уделено вопросам управления плазмой скрещенными E- и H- полями: фокусировке, отклонению, транспортировке и се...

Ердыбаева Н.К. Влияние ионно-плазменной и плазменной обработки на физико-механические свойства микро - и нанокристаллических слоев сплавов и покрытий

Дисертация
  • формат doc
  • размер 2.72 МБ
  • добавлен 09 июня 2011 г.
Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук. Специальность 01.04.07 – физика конденсированного состояния. Астана, 2010, 24с. Работа выполнена в Восточно-Казахстанском государственном техническом университете им. Д. Серикбаева и Сумском институте модификации поверхности (г. Сумы, Украина). Диссертационная работа посвящена изучению изменений структуры, элементного состава, фазовых, морфологических и физико...

Ивановский Г.Ф. Ионно - Плазменная обработка материалов

  • формат djvu
  • размер 82.41 МБ
  • добавлен 12 июля 2010 г.
М.: Радио и связь, 1986, 232 стр. Рассматриваются физико-химические основы и принципы применения ионно-плазменной обработки материалов в вакууме с целью очистки их поверхностей, травления на поверхности структур субмикронного размера, а также получения пленочных покрытий различных материалов. Анализируются основные закономерности и теоретические представления о процессах ионно-плазменной обработки, рассматриваются характеристики оборудования дл...

Каплан С.А., Цытович В.Н. Плазменная астрофизика

  • формат djv
  • размер 5.95 МБ
  • добавлен 24 марта 2010 г.
М.: Издательство "Наука", 1972. - 440 с. (Серия "Проблемы теоретической астрофизики") Фундаментальный труд по физике плазменных процессов во Вселенной. Авторы излагают как общие представления о физике плазмы, так и наблюдательные приложения теории. Содержание: Глава I - Физика плазменной турбулентности Глава II - Спорадическое радиоизлучение Солнца (турбулентные процессы в нерелятивистской плазме) Глава III - Ядра галактик, радиогалактики, кв...

Морозов В.А. Высокочастотные нагрузочные системы для ёмкостного возбуждения плазмы

  • формат pdf
  • размер 577.95 КБ
  • добавлен 20 июня 2009 г.
Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. Специальность 01.04.01 – «Приборы и методы экспериментальной физики». Диссертационная работа посвящена исследованию и моделированию вы-сокочастотных (ВЧ) нагрузочных систем (НС) для ёмкостного возбуждения плазмы, используемых в экспериментальной физике для нанесения и травления тонких плёнок и ионно-плазменной модификации материалов.

Немов А.С. Исследование распыления и ионно-электронной эмиссии углеродных материалов при высокодозном облучении

Дисертация
  • формат pdf
  • размер 673.69 КБ
  • добавлен 14 июля 2011 г.
Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Москва. 2007 г. 23с. Специальность 01.04.04 – физическая электроника Работа выполнена в Лаборатории взаимодействия ионов с веществом Отдела физики атомного ядра Научно-исследовательского института ядерной физики Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова. и температурных зависимостей кинетической ионно-электронной эмиссии. Цели и задачи исс...

Расчёт плазмотрона косвенного действия с выходным электродом с уступом

  • формат doc
  • размер 650 КБ
  • добавлен 26 июня 2009 г.
1 Составление расчётной схемы плазмотрона 2 Расчёт плазмотрона: расчёт рабочих параметров и геометрических размеров плазмотрона; расчёт системы охлаждения.; расчёт ресурса работы плазмотрона 3 Определение характеристик плазмотрона: вольтамперная характеристика; тепловые характеристики 4 Выбор источника питания плазмотрона 5 Технологическое применение плазмотрона 6 Исследование зависимости напряжения дуги плазмотрона от диаметра его разрядного...

Расчёт плазмотрона прямого действия с цилиндрическим электродом

  • формат doc
  • размер 212.83 КБ
  • добавлен 26 июня 2009 г.
1 Составление расчётной схемы плазмотрона 2 Расчёт плазмотрона: расчёт рабочих параметров и геометрических размеров плазмотрона; расчёт системы охлаждения.; расчёт ресурса работы плазмотрона 3 Определение характеристик плазмотрона: вольтамперная характеристика; тепловые характеристики 4 Выбор источника питания плазмотрона 5 Технологическое применение плазмотрона 6 Исследование зависимости электрической мощности плазмотрона от расстояния между...

Степанов И.Б. Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов

Дисертация
  • формат pdf
  • размер 3.88 МБ
  • добавлен 12 июля 2011 г.
Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук Томск, 2010. 47с. Специальность 01.04.20 – физика пучков заряженных частиц и ускорительная техника Работа выполнена в ГОУ ВПО "Национальный исследовательский "Томский политехнический университет" Цель работы состояла в проведении исследований процессов генерации ионных потоков с использованием короткоимпульсных высокочастотных потенциалов смещения и многоэлектродных сист...

Тарала В.А., Шевченко Е.Ф. Исследование газофазного осаждения пленок аморфного углерода с ионно-плазменной стимуляцией процесса

Статья
  • формат pdf
  • размер 221.83 КБ
  • добавлен 09 июня 2011 г.
Статья. Опубликована в Материалы XХХIХ научно-технической конференции по итогам работы профессорско-преподавательского состава СевКавГТУ за 2009 год. Том 1. Естественные и точные науки. Технические и прикладные науки. Ставрополь: СевКавГТУ, 2010. 2с. Прямое осаждение пленок непосредственно из пучков ионов является идеальным процессом, поскольку позволяет управлять энергией частиц осаждаемого материала [1,2]. Однако для реализации этого процесса т...