Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата
технических наук. Специальность 01.04.01 – «Приборы и методы
экспериментальной физики».
Диссертационная работа посвящена исследованию и моделированию вы-сокочастотных (ВЧ) нагрузочных систем (НС) для ёмкостного возбуждения плазмы, используемых в экспериментальной физике для нанесения и травления тонких плёнок и ионно-плазменной модификации материалов.
Диссертационная работа посвящена исследованию и моделированию вы-сокочастотных (ВЧ) нагрузочных систем (НС) для ёмкостного возбуждения плазмы, используемых в экспериментальной физике для нанесения и травления тонких плёнок и ионно-плазменной модификации материалов.