Тамбов: Изд-во Тамб. гос. техн. ун-та, 2006. 76 с.
Рассмотрены вопросы моделирования интегральных микротехнологий, физикотопологического проектирования и процессы получения наноструктурных материалов для элементов РЭС.
Предназначено для студентов специальности 210201 при изучении общеинженерного курса «Автоматизация технологического проектирования радиоэлектронных средств» всех форм обучения.
Рассмотрены вопросы моделирования интегральных микротехнологий, физикотопологического проектирования и процессы получения наноструктурных материалов для элементов РЭС.
Предназначено для студентов специальности 210201 при изучении общеинженерного курса «Автоматизация технологического проектирования радиоэлектронных средств» всех форм обучения.